水环真空泵节能方案

水环真空泵在半导体行业中使用

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，水环真空泵与冷凝器，因此，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，水环真空泵 结构，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。

我们常见的旋片式真空泵一般是油封式机械真空泵，在冶金、机械、、电子、化工、轻工、石油及等生产上有着重要的应用，下面就具体的给大家介绍一下设备的使用范围，方便今后的选择：　　1、环境温度：旋片式真空泵的使用温度一般在不低于5℃的室温下，山西水环真空泵，而且环境的相对湿度不高于百分之九十。　　2、进口压强在大于6500Pa时：需要连续工作的时间不得超过3分钟，以免喷油引起泵损。　　3、气体类型：常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。　　4、进口压强在小于1330pa时：允许真空泵长时期连续工作。　　旋片式真空泵的泵内偏心安装的转子和定子固定面相切，两个旋片在转子槽内滑动，并且和定子的内壁相接触等工作原理，为此我们在使用的时候要注意保养，根据自己行业进行选择，选择一个质量好的设备很重要。

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