水循环真空泵

拆时应注意每个零件的部位，方向及组合松紧，拆下的零件应分开放置，不允许混在一起，互相磨伤。　　4、检查旋片式真空泵全部零部件，看有无磨损或拉毛、打烂等不好现象，按情况进行修理或更换。　　5、注意前后端板如果发现有较大程度的擦伤，就说明装配时转子与中隔板不垂直，应予调整定位销钉，如太严重时应予修理或更换。　　6、将泵拆离真空系统放油先拆低真空端，取下后端板后，再取低真空转子及键，然后将前端板拆下，取出真空泵转子及转片、弹簧等，取下视镜、排气阀门、排气盖，用或者用酒精彻底清洗全部零件。

水环真空泵在半导体行业中使用

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，水循环真空泵厂家，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，水循环真空泵维修，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。

水环式真空泵修理方式：　　1、先做好水环真空泵的表面处理，用清理表面氧化层，用调好的材料涂至要修理的表面，达到要求的修理厚度即可，水循环真空泵，再进行固化。　　2、固化时间缩短一半，但提升温度不得超出材料的承受温度，材料的温度要保持在24小时/24℃，材料温度每提升11℃。　　3、再按照装配要求进行安装，如果材料影响装配可采用打磨的方法处理，千万不可敲击，避免损伤其它材料。但需要注意的是要对修理的材料进行保护，避免受外力的敲击或撞击。　　四、表面粘涂保护相对传统的压力容器焊接修补来说它的操作更加的方便，成本相对也比较的低，可广泛应用于磨蚀、气蚀、腐蚀部位的修理和预保护涂层，修理效果是理想的。　　水环真空泵由于长期在高温、高压的环境下工作，所以容易受到空气的腐蚀，出现磨损、腐蚀、泄漏等现象，水循环真空泵机组，所以我们在使用之前和工作的时候要做好它的防腐工作，避免带来不必要的麻烦，提高工作效率。

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