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直线模组选型的重要性
直线模组系统的结构与旋转电机系统的结构有所不同。旋转电机往往通过丝杠、皮带轮等转动部件转化为直线运动。而直线电机采用直接驱动技术,直线模组的性能起到了决定性的作用。直线模组用户往往对负载的运动有一系列的要求。这样就需要我们为客户选择一款合适的电机。如果选择不当,则可能达不到客户的要求,或者给客户造成成本不必要的上涨。并不是所有的传统传动机构都能被直线电机替代,如果工作状态不能发挥直线电机的高速性能,这种替代可能是不合理的。
另外对于成本问题,直线模组的前期成本虽然高于丝杆,但对于高精度的应用时,高等级的丝杆的采购成本也会比较高,并且此时丝杆系统也需要考虑安装线性编码器,这样直线模组和丝杆之间的成本差距就会变得很小;并且丝杆传动的平台还存在着使用中的维护和磨损问题,由此带来的人工成本和维护成本也不容小视,最后,随着直线电机的生产技术的提高以及量产化的不断扩大,其采购成本也在不断降低。
直线模组的运用
直线模组关键运用于3个层面:1.运用于过程控制系统,这种运用场所较为多;2.做为长期性持续运作的驱动器电动机;3.运用在必须短期内、短路线内出示极大的匀速直线运动能的设备中。U槽有刷电机直线模组能够立即驱动器,不用将旋转变为线形健身运动,机械结构简易靠谱。电动机运作超稳定,无齿槽效用,动态性响应时间很快,惯量小,瞬时速度达到20G,速率超过10-30m/s,低速档1μm/s时健身运动光滑,刚度高,结构紧凑,可选装平行线伺服电机做高精部位操纵,其部位精密度在于选定伺服电机。电机定子路轨能够按必须联接,因此基础理论上电动机长短不分。电机动性子与电机定子不触碰健身运动,沒有选用一般丝杆螺母和传动带等传动系统的损坏、卡住、背隙难题,因而人们的直线模组能够超过免维护保养长期性工作中。该类直线模组非常适用:智能机器人、致动器、平行线服务平台、电子光学光纤线排序精准定位、精密机器、半导体设备、视觉识别系统、电子元器件接灯线、加工厂自动化技术等对分泌系统的速率和精密度另外规定较高的运用场所。
直线模组应用在半导体行业的优点
最常见的直线模组类型有平板直线电机、U形槽直线电机和圆柱直线电机。圆柱型直线电机即音圈电机。音圈电机具有构造简单、响应速度快、灵敏度高、随动性好、密封性能好、不怕污染、适应性强、运行稳定可靠、使用寿命长等优点。因此,这种直线模组广泛用于半导体涉及器件和其他发展领域。
引线连接器
与半导体制造装置有关的引线连接器的装置,一般都在Z轴机构和XY工作台机构上使用。Z轴机构是通过用金属线连接电极和引线框而相对于XY平台上的集成电路芯片上下移动的机构。
XY工作台机构是因为连接位置的改变而移动放置集成电路芯片电极和引线框架的工作台的机构。
有效减振器
为保证半导体涉及装置中的加工精度,对装置所存放地基的震动以及建在装置上的驱动设备产生的震动都要予以抑制。原先是用弹簧和流体进行被动的或主动的震动抑制,因为音圈直线模组的构造简单,响应性好等优势,并且对检测的振动能实现抵消作用的操作。这一有效减振器非常实用,由此而赢得积极的推广。
双轴十字平台
随着工业4.0的发展,音圈直线模组已成为半导体行业不可或缺的核心部件。 标准环形音圈电机的峰值推力达到5000N,行程达到300mm,摆动型音圈电机的峰值转矩达到50N.M,摆动角度超过120°。音圈直线模组将在许多领域赢得更多的应用,慢慢取代传统电机如齿条和螺杆。