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真空镀膜机化学成分
化学成分
薄膜均匀性概念1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2.化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。3.晶格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。
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ZHDS400-6
手套箱蒸发镀膜机-ZHDS400
北京泰科诺15年真空行业经验,专业手套箱蒸发镀膜机生产厂家,现货供应多源热蒸发镀膜机,可与手套箱有机融合。主要包含热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜设备、电子束蒸发镀膜机、多弧离子溅射镀膜机、热丝CVD设备、装饰镀膜机、DLC硬质涂层设备等等。
手套箱蒸发镀膜机-ZHDS400
蒸发镀膜机技术参数:
型号 ZHDS400
镀膜方式 多源蒸发镀膜
真空腔室结构 方箱式前后开门;配置手套箱
真空腔室尺寸 L400×W440×H450mm
加热温度 室温~300℃
旋转基片台 120mm×120mm
基片台升降 手动调节升降高度0~80mm
膜厚不均匀性 ≤±5.0%
蒸发源 2组金属源,2~4组有机源
控制方式 PLC控制
占地面积 主机L1100×W780×H1800mm,手套箱尺寸定制
产品特点 Product Features:
1. 工艺成熟,学校用热蒸发镀膜机报价,性能稳定,使用维护成本低;
2. 功能强大,兼容有机蒸发与无机蒸发,多元共蒸与分蒸;
3. 一体化设计,占地面积小,可单独或与手套箱集成使用;
4. 适用范围:用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜等,也可用于生产线前期工艺试验;广泛用于钙钛矿太阳能电池、OPV有机太阳能电池、OLED薄膜等研究系统等等。
手套箱蒸发镀膜机工作原理:
将膜材置于真空手套箱室内,通过蒸腾源加热使其蒸腾,当蒸腾分子的平均自由程大于真空手套箱室的线性尺度时,蒸汽的原子和分子从蒸腾源外表逸出后,很少遭到其他分子或原子的冲击阻止,可直接抵达被镀的基片外表,因为基片温度较低,便凝聚其上而成膜,为了进步蒸腾分子与基片的附着力,对基片进行恰当的加热是必要的。为使蒸腾手套箱顺利进行,应具有蒸腾过程中的真空条件和制膜过程中的蒸腾条件。
蒸腾过程中的真空条件:真空手套箱室内蒸汽分子的平均自由程大于蒸腾源与基片的间隔(称做蒸距)时,就会取得充分的真空条件。为此,增加剩余气体的平均自由程,学校用热蒸发镀膜机多少钱一台,借以削减蒸汽分子与剩余气体分子的碰撞概率,把真空手套箱室抽成高真空是十分必要的。
热蒸发镀膜机
真空镀膜机主要分类
主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,学校用热蒸发镀膜机多少钱,溶胶凝胶法等等 。一、对于蒸发镀膜:一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:1。基片材料与靶材的晶格匹配程度2、基片表面温度3. 蒸发功率,速率4. 真空度5. 镀膜时间,厚度大小。组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。晶向均匀性:1。晶格匹配度2。 基片温度3。蒸发速率溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,热蒸发镀膜机,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。热蒸发镀膜机
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