合金溅射靶材

      广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业，以生产信息存储记录材料为起点，顺延产业技术发展的方向，深耕产业技术应用的潜力，经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料（金属镀膜技术）、金属薄膜靶材（真空镀膜靶材技术）信息存储记录材料（激光读写光盘生产技术）、工程塑料（PC再生造粒及改性技术）、触控显示材料（手机、平板触摸屏材料）、石墨烯材料（导电、散热）、UV化工材料（UV油墨、UV电子胶粘剂）这七大核心技术为中心的产业集团。

     相比起来，中国国内CIGS产业起步更晚，受生产设备和技术瓶颈的制约，产业发展一直缓慢。相关数据显示，2001年以前国内从事CIGS薄膜太阳能电池研究的单位极少，稍有影响的是天津南开大学光电子所和清华大学机械工程系功能薄膜研究室，之后北京大学重离子实验室、清华大学材料科学与工程系、中国科技大学、内蒙古大学、云南师范大学、地质大学等也开始开展CIS系太阳能电池的研究。由于当时投入经费少，电池技术难度大，只有南开大学在天津市自然科学基1金与科技攻关少量计费资助下维持了下来，在“十五”期间铜铟硒太阳电池被列入863重点课题，使这种电池在中国有了长足发展。

     近年来，中国国内不少厂商在这一领域投入不断加大，也陆续涌现了山东孚日光伏、汉能控股集团、天津泰阳光电、苏州高赛太阳能等一批企业。产业应用方面，也出现了文头所讲的云南石林1兆瓦级薄膜太阳能电站项目，不过这足以令中国太阳能光伏行业信心振奋的项目，却因为核心技术来自德国，而令国内频频在这一领域“放卫1星”，但迟迟不见实质性进展的诸多厂商尴尬不已。本文来源于OFweek太阳能光伏网

     那么，在中国市场拔得头筹的Manz集团的CIGS技术究竟有何独到之处呢？笔者深入考究之后梳理出如下思路。Manz集团虽然成立于1987年，但就该集团的CIGS技术而言，可以追溯到1975年。彼时斯图加特大学电子物理研究机构即以开启CIGS技术实验室研究，至今已经累积了相当丰富的知识。与没有任何技术底蕴，半路出家的中国企业而言，数十年的沉淀，使得Manz集团在CIGS领域里保有历史且具深厚扎实的技术基础。

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    溅射法沉积薄膜的源材料即被轰击的固体，镍铬合金溅射靶材，通常称为靶材。靶材按其组成可分为纯金属、合金和化合物三大类。由于溅射技术的广泛应用，靶材已成为一种具有高附加价值的特种光电子材料。

    溅射镀TiO2镀膜时，合金溅射靶材价格，选用的靶材有Ti， TiO2和TiO2-x(即非化学计量二氧化钛)等不同类型。下文介绍采用3种不同靶材溅射镀膜的具体情况。

Ti靶材

    由于所镀的膜是TiO2，所以用金属钛作靶材镀膜时，有一个化学反应过程，气氛为氧气或氧气与其他惰性气体的混合气体。以Ti为靶材大大降低了靶材的制造成本，采用反应溅射可有效改善薄膜的性质，但存在过程不易稳定、溅射速率较低等弊端。

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