旋转氧化铌靶材

目前高端金属靶材是怎么样的呢？市场环境如何。

      简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

     广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业，经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料、金属薄膜靶材（溅射靶材，旋转靶材，平面靶材，靶材）、信息存储记录材料、工程塑料、触控显示材料、石墨烯材料、UV化工材料这七大核心技术为中心的产业集团。

      解释Ar原子是如何变成Ar离子的：当电场中阴阳两极间电位达到临界电离电压后，通过其中的气体分子分发生电离，其气体分子的外层电子被剥离出来，其中一部分射向阳极，阳江溅射靶材，一部分由于洛伦兹力的作用环绕磁力线运动而被束缚在靶附近，镍铬合金溅射靶材，这部分环绕的电子在加速运动中获得了极大的动能后继续与气体分子碰撞，撞击出更多的电子和Ar正离子。Ar正离子在电场的作用下射向阴极靶材。

      Ar离子轰击到靶材后，所带的正电荷会被靶表面所带的电子中和，重新变成中性原子，因为Ar在通常状态下呈气态，所以绝大部分Ar原子会溢出靶表面，被分子泵抽走。但是也有极少部分Ar原子由于能量过高，嵌入靶材过深，导致难以溢出，就会留在靶的浅表面，一般情况下，这部分Ar原子是不会和金属靶材发生反应的，它以单质的形式存在，并且会随着时间的推移慢慢逸出靶表面。你感兴趣的话可以去做一个不同工艺条件下随时间推移靶材表面Ar原子残留量的成分分析实验，为了得到一个定量的结果，建议采用EDS或XPS进行。