半导体集成电路装置类技术

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商品详细描述

[CS8145-0136-0001] 罩幕式只读存储器的结构及其制造方法 
[摘要] 一种罩幕式只读存储器的制造方法,此方法依序于基底上形成一氧化硅/氮化硅/氧化硅复合层与复数个栅极,且任一栅极与基底之间的氧化硅/氮化硅/氧化硅复合层作为一预定编码区。接着,于栅极间的基底中形成复数条位线,并且于基底上形成与栅极电连接的复数条字符线。然后,于基底上形成具有编码窗口的化学气相沉积抗反射材料层与内层介电层。然后,进行一编码工艺,以化学气相沉积抗反射层为编码罩幕,利用紫外光照射基底,以使编码窗口暴露的栅极下方的预定编码区形成复数个写入编码区,再于编码窗口内形成插塞。
  [CS8145-0084-0002] 压电元件及其制造方法 
[摘要] 一种具有改善之压电性能的叠层型压电元件。这类压电元件中,在压电体中布置振动电极,激发厚度振动的高次振动。所述压电元件包括平行四边形的压电陶瓷。压电陶瓷包括叠置的两个陶瓷压电层,并整体形成。每个压电陶瓷层包括陶瓷晶体颗粒,所述陶瓷晶体颗粒具有形状各向异性以及优先在一个平面内的自发极化。这个平面的面内方向垂直于陶瓷压电层的主平面。陶瓷压电层沿着同样的厚度方向极化。在陶瓷压电层之间以及陶瓷压电层的顶表面和底表面布置三个振动电极。
  [CS8145-0138-0003] 内装半导体的毫米波段模块

本发明的内装半导体的毫米波段模块,能有效地对来自工作在毫米波段的半导体元件的热进行散热,半导体元件和电路元件的安装密度高。具有:电气绝缘性基板,由包含无机填料和热固化性树脂的混合物构成;高热传导基板,由热传导率比上述电气绝缘性基板高的介质材料构成,重叠在上述电气绝缘性基板的一个面上;多个布线图形,形成在上述高热传导基板和上述电气绝缘性基板上;半导体元件,布置在上述电气绝缘性基板的内部,面朝上安装在上述高热传导基板上,且与上述布线图形电气连接,工作在毫米波段;及分布常数电路元件和有源元件,设置在上述半导体元件上;在上述电气绝缘性基板内部且在上述分布常数电路元件和上述有源元件的表面附近设置空隙。
  [CS8145-0018-0004] 细微图案形成方法 
[摘要] 本发明提供采用光刻工序形成细微间隔图案的细微图案形成方法。包括下步骤:含导电膜的半导体基板上,依次涂布i-线用抗蚀剂层和正型ArF抗蚀剂层;在基板上用具有规定图案的掩膜,进行曝光及第1烘烤工序,在正型ArF抗蚀剂层内进行甲硅烷化反应,生成醇基(OH)或羧基(COOH);除去掩膜;在产物上显像,形成第1抗蚀剂层图案;在含有第1抗蚀剂层图案的基板上进行曝光及第2烘烤工序;在其后的基板上用HMDS进行甲硅烷化反应,通过醇基(OH)或羧基(COOH)和HMDS反应,在第1抗蚀剂层图案表面上形成硅氧化膜;将含有硅氧化膜的第1抗蚀剂层图案作掩蔽膜,在上述i-线用抗蚀剂层上进行干式显像工序,以形成第2抗蚀剂层图案;将第1及第2抗蚀剂层图案作为掩膜,对上述导电膜进行蚀刻,形成位线。
  [CS8145-0215-0005] 半导体器件中的布线结构 
[摘要] 一种半导体器件中的布线结构,包括具有第一布线宽度(W1)的第一布线(11),和形成在形成第一布线的层的同一层中、并且具有大于第一布线宽度(W1)的第二布线宽度(W2)的第二布线(12)的布线结构。第二布线(12)电连接到第一布线(11)。第一和第二布线(11,12)都是由铜或主要含铜的合金构成的。第一和第二布线(11,12)具有彼此相同的厚度。第二布线(12)的面积与第一布线(11)的面积的比率是N∶1,其中N等于或大于2,000和等于或小于200,000,000(2,000≤N≤200,000,000)。
  [CS8145-0119-0006] 集成电路制造的推拉双向式派工方法 
[摘要] 本发明涉及一种集成电路制造的推拉双向式派工方法,用于决定芯片批次在每一工作站的排货次序。先定义芯片批次的优先次序,接着进行集成电路制造的推拉双向式派工方法,执行数个推货(Push)步骤与拉货(Pull)步骤。其中,推货步骤是不管下游的制作过程阶段或工作站的拥挤或延迟状况,直接由上游来安排推货、另外,拉货步骤是考虑下游的制作过程阶段或工作站的缺货需求,再由制作过程上游来安排推货。接着,再依原先芯片批次的优先次序高低来进行派工即可。利用此集成电路制造的推拉双向式派工方法,具有提高机台设备利用性的优点。
  [CS8145-0143-0007] 具有高触发电流的静电放电防护电路 
[摘要] 一种具有高触发电流的静电放电防护电路。包含有一半导体控制整流器(SCR),一带MOS结构的双极性极性晶体管。该SCR包含有一阳极、一阳栅极、一阴栅极以及一阴极。该阳极耦接至一第一接合焊垫。该阴栅极与该阴极耦接至一第二接合焊垫。该双极性接面晶体管具有一集电极以及一发射极。该集电极与该发射极其中之一仅仅耦接至该阳栅极;该集电极与该发射极其中之另一耦接至该第二接合焊垫。该ESD防护电路需要较大的触发电流才能使该SCR产生栓锁现象。如此,可以避免在正常操作时,噪声意外引起栓锁现象的事件发生。
  [CS8145-0059-0008] 一种静电放电保护电路 
[摘要] 一种静电放电保护电路,适用于集成电路中。其包含有主要放电组件以及ESD检测电路。该ESD检测电路包含有一串联电容与第一电阻、以及第二电阻。该电容与该第一电阻耦接至该主要放电组件的一控制端与该IC的第一接合焊垫之间。该第二电阻耦接于该控制端与该IC的第二接合焊垫之间。在正常操作时,该主要放电组件为关闭状态。而在ESD发生时,该电容的两端形同短路。通过该第一电阻以及该第二电阻的分压作用,该ESD检测电路可以提供一适合的电压给该控制端。使得该主要放电组件在最佳状态下释放ESD电流。
  [CS8145-0146-0009] 滤波器芯片和滤波器设备 
[摘要] 一种滤波器芯片包括:多个串联分路谐振器,配置在梯形配置的串联分路上;以及多个并联分路谐振器,配置在梯形配置的并联分路上。公用线连接到多个并联分路谐振器中至少两个并联分路谐振器的第一电极。所述至少两个并联分路谐振器的第二电极连接到多个串联分路谐振器中的相关串联分路谐振器。
  [CS8145-0168-0010] 发光二极管的结构及其制造方法 
[摘要] 本发明提供一种发光二极管的结构及其制造方法,该发光二极管具有镜面反射层,其镜面反射层为由一透明导体氧化层和一高反射金属层所构成的复合反射层,透明导电型氧化层可允许绝大多数的光通过然后再被反射金属层反射回来。透明导电型氧化层可以选取和高反射金属层不会反应或几乎不反应的材料,这样即使是在高温环境下,也可避免在进行欧姆接触退火步骤时反射金属层和III-V族化合物半导体的反应所导致反光性退化的问题。因此,具有上述的镜面反射层的发光二极管可以使得产品具有高良率,进而降低制造成本。
  [CS8145-0214-0011] 内存储存节点及其制造方法
  [CS8145-0171-0012] 晶圆辨识标号的制作方法
  [CS8145-0083-0013] 采用电泳技术制备大面积高温超导钡钇铜氧厚膜的方法
  [CS8145-0121-0014] 浅槽隔离的方法
  [CS8145-0123-0015] 在半导体装置中形成金属互连层的方法
  [CS8145-0023-0016] 一种改善化学机械抛光不均匀度的方法

  [CS8145-0043-0017] 表面检查方法及表面检查装置
  [CS8145-0142-0018] 具有铜布线的半导体器件
  [CS8145-0172-0019] 半导体器件及其制造方法
  [CS8145-0200-0020] 形成隔离元件时消除应力与损伤的方法
  [CS8145-0106-0021] 阻挡氢离子渗透的金属层间介电层的制造方法
  [CS8145-0163-0022] 图象拾取装置的制造方法
  [CS8145-0160-0023] 快闪存储单元的结构及其制造方法
  [CS8145-0009-0024] 具有黑矩阵的平板显示器及其制造方法
  [CS8145-0038-0025] 电子器件制造装置、电子器件的制造方法以及电子器件的制造程序
  [CS8145-0050-0026] 半导体装置的制造方法
  [CS8145-0015-0027] 处理半导体设备变更制造流程属性的方法
  [CS8145-0117-0028] 接触器、制造此接触器的方法、以及使用此接触器的测试方法
  [CS8145-0186-0029] 实现单面抛光的双面无蜡抛光方法
  [CS8145-0153-0030] 半导体装置及其制造方法
  [CS8145-0085-0031] 可调电容器及其制造方法
  [CS8145-0010-0032] 用于发白光二极管的燐光体和发白光二极管
  [CS8145-0022-0033] 半导体器件及其制造方法
  [CS8145-0104-0034] 石英玻璃喷镀部件及其制造方法
  [CS8145-0025-0035] 具有高选择比的平坦化方法
  [CS8145-0044-0036] 半导体器件的制造方法

  [CS8145-0098-0037] 防止气体逆流的转接器及方法
  [CS8145-0086-0038] 音叉型压电振荡片及其制造方法,压电器件
  [CS8145-0013-0039] 第Ⅲ族元素氮化物半导体元件的生产方法
  [CS8145-0070-0040] 半导体存储装置
  [CS8145-0180-0041] 在绝缘体上硅材料基板上制作上接触插塞的方法
  [CS8145-0179-0042] 制作双栅极结构的方法
  [CS8145-0073-0043] 有内置光接收元件的半导体器件、制造方法及光学拾波器
  [CS8145-0109-0044] 半导体器件的制造方法
  [CS8145-0177-0045] 用以制造半导体装置的化学气相沉积设备的喷头
  [CS8145-0074-0046] 一种双极型晶体管及应用它的半导体装置
  [CS8145-0158-0047] 半导体存储装置
  [CS8145-0068-0048] 半导体器件和采用该半导体器件的半导体存储器
  [CS8145-0174-0049] 复合光致抗蚀剂层结构
  [CS8145-0030-0050] 能评价工艺性能的等离子体处理装置
  [CS8145-0135-0051] 只读存储器的制造方法
  [CS8145-0031-0052] 减少废气排放量的蚀刻方法
  [CS8145-0077-0053] 在杂质扩散区之间具有减小的寄生电容的半导体器件
  [CS8145-0052-0054] 半导体器件的制造方法
  [CS8145-0037-0055] 改进的光学玻璃制程方法
  [CS8145-0189-0056] 气相有机材料沉积方法和使用该方法的气相有机材料沉积设备

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  [CS8145-0211-0058] 应用于半导体晶片的双封闭护环结构
  [CS8145-0040-0059] 电子器件的制造装置、制造方法以及制造程序
  [CS8145-0065-0060] 半导体存储装置及其驱动方法
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  [CS8145-0099-0062] 包含剂量效应的离子注入高速模拟方法
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  [CS8145-0007-0064] 多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
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  [CS8145-0067-0066] 虚拟接地架构的闪存
  [CS8145-0108-0067] 半导体热处理用反射板和该半导体热处理用反射板的制造方法
  [CS8145-0203-0068] 形成低介电常数介电层的方法及导电内连线结构
  [CS8145-0184-0069] 具有防水窗口的研磨垫
  [CS8145-0091-0070] 形成混合性抗反射层的方法
  [CS8145-0097-0071] 可缩短光掩模制造周期的光掩模供给系统
  [CS8145-0008-0072] 半导体装置及其制造方法
  [CS8145-0039-0073] 电子器件制造装置、电子器件的制造方法以及电子器件的制造程序
  [CS8145-0125-0074] 基于模块变形的集成电路宏模块布图规划和布局方法
  [CS8145-0167-0075] 光半导体器件
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