美国等离子去胶机

供应美国等离子去胶清洗机(美国PE公司)，产品性价比极高，操作简单，

工艺稳定性好。针对不同的工艺尺寸，分为三个型号。

型号一： PE50      用于4英寸工艺

Remarks:

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 6”*6”*4”

n     Electrode Configuration, Silngle 5”*5”Horizontal

n     RF Generator & Matching Network 125W, 50KHz

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     Control, 0~25 CC/min

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

n     Vacuum Pump, 5 CFM, Oxyger Service

n     Process Sequence, Single

n            AC Input 120V, 50Hz, 15A

型号二：PE100      用于8英寸工艺

Remarks:

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 12”*12”*12”

n     Electrode Configuration, Three 9”*9”Horizontal

n     RF Generator & Matching Network 300W, 13.56MHz

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     Control, 0~50 CC/min

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

n             Vacuum Pump, 8 CFM, Oxyger Service

型号三：PE200      用于12英寸工艺

Remarks:

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 17”*14”*14”

n     Electrode Configuration, Three 13”*13”Horizontal

n     RF Generator & Matching Network 300W, 13.56MHz

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     Control, 0~200 CC/min

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

n     Vacuum Pump, 29 CFM, Oxyger Service

如您需要小规模生产型的去胶机，请直接致电我公司，我们会推荐更合适

的型号并报价给您。