半导体硅圆片清浩后干燥无氧烤箱

厂商 :上海旦顺实业有限公司

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  • 主营产品:
  • 高低温试验箱
  • 除湿机
  • 防潮箱防潮柜
联系电话 :15221841067
商品详细描述
半导体硅圆片清浩后干燥无氧烤箱
充氮厌氧烘箱专用于硅片(或晶片、晶圆片、圆片)进行清洗之后干燥硅片工艺.

PHH-系列充氮厌氧烘箱特点:
1)全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
2)耐高温,可以达到和工作场同样的地洁净等级;
技术参数:
1. 型号:PHH-1008
2.工作尺寸(mm): W1400×H1300×D600 (**)
3.外形尺寸(mm): W1990×H1850×D810 (**)
4.送风方式:强制送风循环。
5. 温度范围:RT10300
6. 温度波动:<±0.5
7. 温度均匀:±1.5%
8.温控装置:日本富士P.I.D智能温控仪表, LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。
温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器。                   
测温装置:1PT100 铂 电阻温度传感装置,测温精确。
定时装置:HS48S-99.99定时仪表。
9内室材料:采用 1.0mm厚度SUS不锈钢钢板板金折弯加工,周身做氩弧焊满焊,密闭,氮气不泄露;外箱优质SUS不锈钢数字加工而成,美观大方
10.保温材质:硅酸铝。
11.特质复合式SUS304#不锈钢电热产生器
12.保护装置:超温保护,欠相保护,过载保护器,蜂鸣器,开门氮气自动中断保护
充氮厌氧烘箱热线:021-37693997,15221744475 传真:021-37832075 ,联系人:蒋鑫,
网站:http://www.done-e.com.
半导体硅圆片清浩后干燥无氧烤箱



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