封装无尘烘箱 6寸晶圆封装无尘箱

一、产品主要技术参数： 

1.产品名称及型号：无尘烘箱 CM-100 S350

2.电源及功率：AC380V 3φ 50Hz，6Kw

3.无尘等级：Class 100；

4.温度范围： 常温+60～250℃；

5.温度均匀度：±2% （空载）

6.升温速度：>5℃/min ，升温斜率可控，升温速度可以通过加热系统控制调节。

7.降温：风冷夹层降温，200℃～ 120℃，3.5度/分钟，120℃～ 65℃约1.5度/分钟。

8.电磁锁：启动设备运行中，电磁门锁锁门，运行未结束，人工不能开门。

二、先进可靠的测控系统

温控装置：智能控制系统,欧姆龙PLC+PC工控（可联网，对接MES及SECSGEM）

          程式编辑：可预编120个程式，每个程式可编99段，共1200段

          历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)

          六点温度记录

三、规格尺寸多种可选(也可根据客户尺寸定制）

公司名称：上海旦顺实业有限公司;业务经理：蒋鑫;  手机号：15221744475;24小时服务热线：400-823-8860;公司主页：www.espec.com.cn