厂商 ：北京晶伏华控电子设备有限公司
北京市 北京市- 主营产品：
- IGBT真空焊接炉
- 在线式真空焊接炉
- IGBT真空回流炉
联系电话 ：18310083901
商品详细描述
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设备用途：
北京晶伏华控电子设备有限公司生产的氧化炉主要用于在高温环境下对所加工器件进行扩散、烧结、退火、合金、氧化等工艺。
主要技术性能指标：
◆ 外型形式： 卧式单管
◆ 最高工作温度： 1280℃
◆ 加热炉管有效口径： Φ240mm
◆ 等温区长度： 800mm
◆ 控温仪表： 原装进口，日本岛电FP23、SR23高精度控温系统
◆ 等温区精度： 400℃--600℃ ±1℃ 600℃--1280℃ ±0.5℃
◆ 单点温度稳定性： 400℃--600℃ ±1℃ 600℃--1280℃ ±0.5℃
◆ 升温斜变能力： 最大可控升温速度：15℃/min
◆ 最大升温功率： 26KW/管
◆ 保温功率： 13KW/管
◆ 气路系统： 氮气+氧气，带湿氮发生器(含液位自动补水装置)
◆ 流量计： 质量流量计
◆ 气路管件： 进口原装，长期使用不生锈
◆ 气路系统气密性： 1×10-7Pa·m3/S
◆ 电源： 三相五线380V、50Hz
◆ 工艺管： GE，配石英舟、石英帽等
◆ 热电偶： S型
◆ 气源： 整个气路系统包括质量流量计、手动阀门、电磁阀、进口内抛光316L不锈钢管、接头等。每管配有氮气+氧气两种工艺气体。带有温度可控的湿氧发生器。湿氧发生器带水位控制功能，水位实时显示在触摸屏上，当水位低于设定水位时系统自动补水。
我公司可根据客户需求定制各种非标氧化炉。◆ 外型形式： 卧式单管
◆ 最高工作温度： 1280℃
◆ 加热炉管有效口径： Φ240mm
◆ 等温区长度： 800mm
◆ 控温仪表： 原装进口，日本岛电FP23、SR23高精度控温系统
◆ 等温区精度： 400℃--600℃ ±1℃ 600℃--1280℃ ±0.5℃
◆ 单点温度稳定性： 400℃--600℃ ±1℃ 600℃--1280℃ ±0.5℃
◆ 升温斜变能力： 最大可控升温速度：15℃/min
◆ 最大升温功率： 26KW/管
◆ 保温功率： 13KW/管
◆ 气路系统： 氮气+氧气，带湿氮发生器(含液位自动补水装置)
◆ 流量计： 质量流量计
◆ 气路管件： 进口原装，长期使用不生锈
◆ 气路系统气密性： 1×10-7Pa·m3/S
◆ 电源： 三相五线380V、50Hz
◆ 工艺管： GE，配石英舟、石英帽等
◆ 热电偶： S型
◆ 气源： 整个气路系统包括质量流量计、手动阀门、电磁阀、进口内抛光316L不锈钢管、接头等。每管配有氮气+氧气两种工艺气体。带有温度可控的湿氧发生器。湿氧发生器带水位控制功能，水位实时显示在触摸屏上，当水位低于设定水位时系统自动补水。
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