研磨片

裸片、研磨片参数规格 生长方式： 直拉 CZ 型号： N型/磷、砷、锑 P型/硼 （掺杂元素） 晶向： 111/100 电阻： 0.0015-20 Ω·cm（电阻范围可选、也可按照客户需要订制） 厚度： 200-5000μm（厚度范围可选、也可按照客户需要订制） 平整度TIR：<5μm 弯曲度Bow: <20μm 翘曲度TTV: <20μm 粗糙度nm : <5nm 主要用途有： 1、用于同步辐射实验样品载体； 2、用于磁控溅射生长样品； 3、用于X射线分析晶体等。