厂商 ：深圳市昊光机电科技应用有限公司
广东 深圳- 主营产品：
- 离子刻蚀机
- 真空镀膜机
- 真空配件
联系电话 ：13928453655
商品详细描述
Applied Matertials AME-8100
等离子体刻蚀机用于反应离子蚀刻氧化物，氮化物。可针对4“，5” 或6“晶圆。
设备描述：
1、真空系统：爱德华干泵+CTI冷凝泵+LEYBOLD分子泵
2、真空检测：TC guage +ION gauge +MKS薄膜压力规
3、过程检测：激光薄膜厚度检测
4、工作气体：5路工作气体+环行布气系统
5、工件尺寸：4寸-6 寸，可改进到更大尺寸。如4寸，可装载24片
6、工作电源：射频功率源+匹配箱
7、控制系统：全自动工艺流程，高集成控制系统
8、安全保护：全面考虑安全因素，人性话设计。
等离子体刻蚀机用于反应离子蚀刻氧化物，氮化物。可针对4“，
设备描述：
1、真空系统：爱德华干泵+CTI冷凝泵+LEYBOLD分子泵
2、真空检测：TC guage +ION gauge +MKS薄膜压力规
3、过程检测：激光薄膜厚度检测
4、工作气体：5路工作气体+环行布气系统
5、工件尺寸：4寸-6 寸，可改进到更大尺寸。如4寸，可装载24片
6、工作电源：射频功率源+匹配箱
7、控制系统：全自动工艺流程，高集成控制系统
8、安全保护：全面考虑安全因素，人性话设计。
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