金属材料快速退火炉采用感应线圈加热可实现多种工艺

一、设备总体概述 一、机台说明： ZYG1100-300感应退火炉是我公司在消化吸收国外同类产品的基础上，与北京大学东莞光电研究院共同研制开发的。广泛应用于快速退火、陶瓷材料烧结、薄膜生长、碳纳米管的研制、纳米氧化锌结构的可控生长、衬底还原复活等工艺。独特的加热方式，提高了生产的效率。该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温实验用的理想产品。 二、电源特点： 这款高频感应退火炉采用高频感应加热，采用段31程序控温系统，PID调节，温度可控，炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料，具有升降温度速率快、方便、简洁等优点； 密封系统：该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。 真空系统：该炉配有真空泵机组，如果需要更高的真空度可以选用扩散泵或分子泵，可选配烟雾过滤器和油污过滤器。 炉膛材料：采用氧化铝陶瓷纤维保温材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。 漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电时自动断电，以确保使用的安全性。 法兰：采用双环密封技术，有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。 水冷系统：该炉配有冷水机、可以有效的给感应线圈提供冷却水，水冷系统具有自动控温和过温保护等功能。 高频感应加热炉：采用IGBT功率模块和变流控制技术，操作简单、维修方便，具有具有欠水压和过温保护。 三、主要技术参数指标 参数 项目 电压AC 380V 加热功率 80KW 铜圈尺寸 Φ350*350mm 石英管有效尺寸 Φ300*300mm 热电偶 红外热电偶（可精准测量温度） 加热方式 感应加热 冷却水要求 ≥0.2MPa ≥6L/分 最高工作温度 1400℃ 常用工作温度 ≤1300℃ 温区数 一点控温 不锈钢支架 不锈钢支架垂直固定在移动架子上，石英管和法兰通过支撑板固定于不锈钢支架上，非常牢固、紧凑 上真空法兰 上不锈钢法兰上焊接有真空腔体，在真空腔体上开有炉门、腔体上并焊接有KF25接头、KF16接口和进气阀门，KF25接头上安装有真空挡板阀，1米长波纹管连接于该阀和真空泵 下真空法兰 下真空法兰连接自动升降料平台装置，安装有热电偶和出气阀，热电偶，可对物料进行程序升温 法兰 上下两侧采用304不锈钢法兰，配有水冷系统，避免了法兰温度过高导致了密封圈老化。 控温系统和热电偶 采用PID控制，可对物料进行程序控温加热，可同时手动调节电流输出大小，设备带有过温保护 真空泵 10pa 气体流量计 配有一路气体流量计，量程为0-10L/min 可通气体 纯氧/N2、Ar等惰性气体 使用气氛压力 ≤0.05MPa 坩埚升降平台 料可以通过自动升降平台到加热区、降下来后可从炉门处拿出。 1、升降平台行程? ? ? ? ? 300mm 2、升降平台升降速度? ? ?0.1um-2000um/s?? 3、升降平台可自动，手动升降，也可多段速升降 4、升降平台上下都做了限位，最大限度的保护设备 5、放料取料都很方便 升温程序 1、该设备带有一块10寸触摸屏（昆仑通态） 2、触摸屏中内置本公司自主研发的PLC程序，画面友好，操作简单（西门子） 3、软件做了安全保护按钮，防止误操作损坏设备