复合分子泵

Osaka涡轮分子泵TG-F系列使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。 任意方位安装复合分子泵 TG-F系列产品特点： 无油的超高真空环境 机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同 可排稀有气体和腐蚀性气体 可连续排大流量气体 可工作的压力范围宽。（～10-10Pa） 任意方位安装复合分子泵 TG-F系列产品优势： ■多个方位安装 ■轻巧设计 ■节能 ■迅速启动 ■使用破控功能可迅速停止 ■耐大气冲击能力强 ■多种通信模式 应用场合： 半导体制造 电子枪排气，离子源排气 FPD制造 表面处理，表面改质 各种电子部件的制造 分析，试验装置 管球制造，光学部件制造 加速器，放射线设施，核聚变研究 热处理 研究开发 排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列