复合分子泵批发价格、市场报价、生产厂家

厂商 ：上海盈炽商贸有限公司

上海市 上海市
  • 主营产品：
  • 旋片式真空泵
  • 螺杆式真空泵
  • 罗茨泵
联系电话 ：18918094369
商品详细描述

复合分子泵批发价格、市场报价、生产厂家【上海盈炽商贸有限公司】


产品特点：

省电设计      在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。 ※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。      支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）      适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2产品应用：半导体制造设备FPD制造设备太阳能电池制造设备玻璃/镜片等光学部件加工镀膜工艺加速器/环境模拟器技术参数：
型号※1 TGkine3800M-R TGkine4200M-R
吸气口法兰 VG300 / ISO-B320 VG350
排气口法兰※2 KF40 / KF50
排气速度 N2 (L/s) 3600 4200
N2(付带金属保护网) (L/s) 3400 4000
H2 (L/s) 2700 2700
压缩比 N2 >2×108
H2 2×103
气体流量※3、※4 N2 (sccm) 2800
Ar (sccm) 1300
起动时间 (min) ≦12
停止时间 (min) ≦14
到达压力※5 (Pa） <5×10-7
(Torr） <3.8×10-9
排气口压力※6 (Pa) 160
(Torr） 1.2
推荐前级泵 (L/min) ≧2000
安装方向 正立或倒立安装
质量 (kg) 72 / 74 70

标签：
相关产品推荐