浙江热气体质量流量控制器

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LM系列是LineTech在2020年开发出的新产品，也是LineTech一代MEMS技术的气体质量流量控制器。因为有了MEMS技术，为我们的LM系列产品提供了好的性能，同时降低了产品的成本。它在低流量时有非常好的精准性，并提高了响应时间，良好的线性，长期的稳定性，相信会带给客户更好的体验，并为客户节约成本。

 

l 较小流量：0.3sccm~10sccm（标准毫升/分钟）

l 较大流量：0.9~30slpm（标准升/分钟）

l 0-5Vdc / 4-20mA （可选） 输入输出信号

 

 

 

以下为详情页

 

 

型号：LM030C

量程范围（N2）：0.01slpm~30slpm

响应时间：＜1 sec

精准度：±1% of FS

重复性：±0.25%

输入输出信号：0-5Vdc 或 4-20mA 可选

供电：+15~+24Vdc，350mA

较大工作压力：＜10 bar

工作温度范围：0~50℃

漏率：1×10^-9atm.cc/sec

控制量程:3~100 %

通讯协议：无  

                              LM030C 图片

 

 

产品特点与优势：

? 低流量时精准

? 好的成本效率

? 提高响应时间

? 宽压力范围兼容性

? 线性度好

? 长期稳定

? 紧凑的连接

 

 

应用领域： 

? 生物技术、制药行业

? 气体泄露检测系统

? 食品、化学、石化等行业气体流量监控

? 燃料电池、环保设备

? 光纤、玻璃、表面处理设备

? LED 照明、金属加工

? 精密气体混合与分析

? 大学、实验室、研发机构和研发设备

? 半导体、太阳能、光伏制造业

 

 

外观及尺寸：

 

                                    

 

LM030C 尺寸图

 

 

         上海昕潼贸易有限公司主营韩国LINE TECH气体质量流量计&气体质量流量控制器，广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。