高精度气体质量控制器

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• 定义：高精度气体质量控制器是一种能够测量并控制气体流量的仪表设备，其测量值不受温度或压力的波动影响，无需温度压力补偿。
• 原理：高精度气体质量控制器主要分为毛细管式和热式两种类型。毛细管式通过测量气流在毛细管中产生的压力差来计算气体流量；热式则利用热量传递原理，通过测量气体流经加热元件前后温度的变化来控制气体流量。

特点与优势

1. 高精度：能够提供非常的流量控制，误差通常小于1%，重复性好。
2. 宽量程：能在很宽的流量范围内工作，适应不同工艺需求。
3. 快速响应：尤其是热式MFC，其响应时间通常在几毫秒之内，适用于快速变化的流量需求。
4. 兼容性强：可处理各种类型的气体，包括腐蚀性和易燃气体。
5. 智能化：部分高精度MFC具备远程监控、故障诊断、预测性维护等功能，提高生产效率和产品质量。