全自动测量金相显微镜

1.仪器主机说明 TMC-3207是我司针对半导体行业推出的一款高性能的全自动测量金相显微镜，结合公司多年影像测量和扫描的生产经验，以及自主研发的三维测量扫描软件，将设备的高性能、全自动的特点发挥到极致。 ?支持自动对焦、摇杆操作以及非接触式光谱共焦位移传感器测量（选配）。 ?软件具有强大的元素构造、多元测量（自动寻边、对比测量、局部放大采点）等诸多功能。 ?伺服马达驱动，电机响应速度快。 ?全闭环运动控制，具有精确的高速运动定位性能。 ?精简化仪器与计算机接口。 ?000级花岗石平台，结构稳定，抗振性强。 ?多种光源配合：程控表面LED面光源、底部光源及蛇管辅助光源。 ?配有专用的三维测量软件，具有教导功能，可大幅提高测量效率。 ?高品质滚珠驱动螺杆与滑轨，机械性能佳。 ?500万像素高清晰数字摄像机和金相镜头，保证极佳的成像质量。 ?5X、10X、20X物镜切换，最大倍率接近1000倍，成像效果极佳，既可细微观察亦可高精度测量。 2.技术参数 扫描范围 XYZ三轴移动范围（mm） 300*200*70 外形尺寸（mm） 900*644*1600 玻璃台面尺寸（mm） 375*275 台面承重（kg） 25 仪器净重（kg） 240 光学影像及测量系统 光学系统 无限远平场消色差金相显微光学模组（3目） 金相显微物镜倍率 5X 10X 20X 视频总放大倍率 241.5X 483X 966X 双目目镜倍率 标配10X目镜（视场数Φ22mm），也可选配20X目镜 物方工作距离(mm) 26.1 20.2 8.8 物方视场(mm) 1.47*0.98 0.735*0.49 0.368*0.245 照明光源 上光：LED同轴落射冷光源（程控调光） 底光：LED平行冷光源（程控调光） 辅光: LED光源（程控调光） 摄像机 HIKVISION 500万像素高清彩色数字相机 示值误差（μm） 单视野 ±1 XY行程范围 2.5+L/200 重复精度（μm） 单视野 ±0.5 XY行程范围 2.5 XYZ光栅分辨力（μm） 1 扫描测量软件 ZT Vision-C (拥有自主知识产权) 其他选配件 光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、自动变倍金相显微模组、操作摇杆等 XYZ三轴驱动方式 伺服电机+丝杆导轨驱动，三轴全闭环运动控制 电脑 联想E95/G3930/4G/1T/集成 工作电源 AC200-240V ?50/60Hz? 450W（注：需有电阻≤4Ω接地线） 工作环境 温度20±2℃,? 相对湿30%-80%,振动＜0.002g，低于15Hz，?远离振源