厂商 :智庭科技(武汉)有限公司
湖北 武汉市- 主营产品:
- 影像测量仪
- 测量投影仪
- 显微镜
1. 仪器主机说明
TMM-2107是我司针对半导体行业推出的一款高性能的手动测量金相显微镜,结合公司多年影像测量和扫描的生产经验,以及自主研发的三维测量扫描软件,将设备的高性能的特点发挥到**。
l 选用高清品牌相机,措载soptop高端金相系统,整体成像清晰无闪烁,视场开阔。
l 物镜可切换多种倍率:5x,10x,20×,50x(选配)100×(选配),**综合倍率**可达
2000倍以上。
l 标配反射和透射LED可程控光源或非程控卤素光源。
l 利用可变孔径光阑,可进行无衍射观察测量。
l 单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm加装光谱共焦位移传感器可测高度、
深度、平面度,测量精度±1μm。
l 可根据客户需求,订制各种尺寸工作台,目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做
50*50mm工作台。
l 有精调/微调两种模式,便于**聚焦和观察测量,快速定位焦面。
l 可根据客户要求加配超长工作距离APO物镜,激光测头各种规格摄像机以及更高精度光
栅等(光尺**选配0.01μm)。
l 自主研发金相测量软件,页面简洁大气,操作方便易上手,可适高精度要求的复杂工件
测量。
2.技术参数
扫描范围 |
XYZ三轴移动范围(mm) |
200*100*70 |
||
外形尺寸(mm) |
520*530*740 |
|||
玻璃台面尺寸(mm) |
245*145 |
|||
台面承重(kg) |
25 |
|||
仪器净重(kg) |
100 |
|||
光学影像及测量系统 |
光学系统 |
无限远平场消色差金相显微光学模组(3目) |
||
金相显微物镜倍率 |
5X |
10X |
20X |
|
视频总放大倍率 |
241.5X |
483X |
966X |
|
双目目镜倍率 |
标配10X目镜(视场数Φ22mm),也可选配20X目镜 |
|||
物方工作距离(mm) |
26.1 |
20.2 |
8.8 |
|
物方视场(mm) |
1.47*0.98 |
0.735*0.49 |
0.368*0.245 |
|
照明光源 |
上光:LED同轴落射冷光源(程控调光)
底光:LED平行冷光源(程控调光)
辅光: LED光源(程控调光) |
|||
摄像机 |
HIKVISION 500万像素高清彩色数字相机 |
|||
示值误差(μm) |
单视野 |
±1 |
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XY行程范围 |
2.5+L/200 |
|||
重复精度(μm) |
单视野 |
±0.5 |
||
XY行程范围 |
2.5 |
|||
XYZ光栅分辨力(μm) |
1 |
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扫描测量软件 |
ZT Vision-M |
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其他选配件 |
光谱共焦位移传感器、激光位移传感器、自动变倍金相显微模组等 |
|||
电脑 |
联想E95/G3930/4G/1T/集成 |
|||
工作电源 |
AC200-240V 50/60Hz 450W(注:需有电阻≤4Ω接地线) |
|||
工作环境 |
温度20±2℃, 相对湿30%-80%,振动<0.002g,低于15Hz, 远离振源 |
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