片式真空等离子 芯片封装等离子清洗机 高精密真空等离子活化

1.料盒采用单边定位，根据不同料盒壁厚，只需要扭松紧固螺丝就可进行手动微调，方便替换不同壁厚料盒。 2.自动调宽采用伺服加滚珠丝杆精准位置定位可以快速切换不同宽度料盒，节省人为操作时间，提升生产效率。 设备主要技术参数 外形尺寸 长1712mm 宽1135mm 高1870mm 处理宽度 自动调节宽度(25mm-100mm) 电源 AC220V、50Hz 真空泵 干泵 32m^3/h 电源 射频 600W 工艺气体 Ar 、O2、200SCCM（沃威） 腔体大小 长宽高；490x320x56mm (12L) 排气 KF40排气口 控制方式 P LC 1 供电电力 单相，220V±5% 50Hz 接地线电阻要求小于 10Ω, 2 压缩空气压力 0.4MPa～0.6MPa 3 压缩空气接口 和外径为φ10 mm 塑料增强管相配套 4 真空泵排气接口 接头型式: KF40（外径55mm） 5 工艺气体接入 接头型式：6mm不锈钢管（金属卡套接头）/6mm特氟龙管 6 工艺气体要求 氧气纯度：99.99%以上 氩气纯度；99.99%以上 7 设备尺寸 长1712mm 宽1135mm 高1870mm （注意搬入口宽度） 设备特点 一次性放置四个料盒，单次处理1片产品。处理过程中，设备可实现自动抽取材料进行处理，及处理后自动将产品送回料盒，降低人工成本，提升工作效率。 产品推料和腔体推料均采用光电传感器感应，杜绝推料因摩擦力大而损伤产品表面。 一体式等离子电极板放电设计，高浓度等离子体处理产品，等离子体密度高，处理效果好，均匀性好，短时间处理便能达到良好的活化效果。 料盒工位/送料传送采用自动调宽功能，可实现一键式切换，方便切换不同型号引线框架。 采用工控系统，操作简单，报警防护功能齐全，可储存多种工艺，软件具有停机、待机后真空泵、气路（保护气和压缩空气）延时自动切断功能，可定向开发扩展MES对接功能，和扫码功能。