真空等子设备厂家 迷你LED在线等离子清洗机 在线等离子清洗机

2.1 产品概述 MKS-VAC100 真空等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、、稳定的表面处理方式。 2.2 产品优势 ?产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。 ?水平电极设计，可满足软性产品处理需求。 ?低耗能、耗气产品。 ?便捷的收放板方式。 ?真空系统集成，占地面积小。 ?合理的等离子反应空间，使处理更均匀。 ?集成的控制系统设计，使操作更方便。 2.4 产品规格 真空等离子主机 设备尺寸 L900×W1150×H1900mm 重量 500Kg 需求电源 AC380V，50/60Hz，5线，25A（总空开选型为C型以上） 等离子发生器规格 电源功率 射频 中频 0~600W 0-1000W 电源频率 13.56MHz 40 KHz 真空系统 真空泵 鲍斯双级旋片泵（油泵）：60m3/h 真空管路 全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 材质 铝合金 厚度 25mm 密封性 级焊接密封 腔体内部尺寸 450×450×525mm（宽×高×深） 电极板有效尺寸 400×410mm（宽×深） 可用空间间距 28mm 电极板布置方式 水平电极板 工作托盘 标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） 工作空间 8层 工艺气体 流量范围 0~300SCCM 工艺气体气路 标配两路，可定制。工艺气体管路为铁氟龙材质 控制系统 系统控制 PLC 交互方式 7寸触控屏幕