清芯卓甩干机

厂商 :苏州清芯卓半导体设备有限公司

江苏 苏州市
  • 主营产品:
  • 酸碱腐蚀清洗机
  • 硅片硅料清洗机
  • RCA清洗机
联系电话 :15370062558
商品详细描述
产品参数
品牌:其他 加工定制: 类别:其他 配套机器或者设备:半自动 规格:480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm RPM:500-2600r/min
产品特点

清芯卓甩干机 晶片规格: 2-8〞wafer RPM: 500-2600r/min 基础工艺流程: 上料→DI喷淋+旋转→N2(hot)+旋转→加速旋转(温控)→下料 腔体数量: 单腔/双腔/四腔 设备类型: 半自动 Footprint : 480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm

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