清芯卓单片清洗机

厂商 :苏州清芯卓半导体设备有限公司

江苏 苏州市
  • 主营产品:
  • 酸碱腐蚀清洗机
  • 硅片硅料清洗机
  • RCA清洗机
联系电话 :15370062558
商品详细描述
产品参数
品牌:其他 加工定制: 类别:其他 配套机器或者设备:光罩清洗:掩膜版的清洗, 光阻去除 材质:金属骨架+PP/PVC壳体,槽体材质PP 规格:1800 (W) x 1800 (D) x 2000(H) mm 清洗:掩膜版的清洗, 光阻去除 蚀刻:去光阻 各式晶圆之厚膜光阻清洗及 met
产品特点

清芯卓单片清洗机 显影: 适合各式凸块、RDL 及封裝制程之光阻显影, 先进制程8寸、 12寸晶圆显影液 Spray、 Puddle 、Spin 工艺 清洗: 前道制程,先进封装制程, 凸块制程等, 于镀 膜前、 上光阻前、 蚀刻後、 离子子植入后、 CMP后及 flux Clean等晶圆清洗制程 蚀刻: UBM、RDL 、BGBM及各种金属层的刻蚀,去光阻 各式晶圆之厚膜光阻清洗及 metal lift off 制程光阻去除 光罩清洗: 掩膜版的清洗, 光阻去除 Footprint : 1800 (W) x 1800 (D) x 2000(H) mm

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