滚筒等离子清洗机

此款等离子清洗机针对粉末或者颗粒的360度表面处理设备，通过旋转机构带动石英搅拌罐使样品处于悬空位置达到360度清洗。 等离子清洗机作为一种微观固体表面的处理设设备，是一种全新的表面处理方案。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。 主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。 该清洗机内置高纯石英仓体，采用了新型的电极结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。 设备型号 小号 中号 大号 滚筒 供电电源 AC220V（AC110V可选) 工作电流 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) 射频电源功率 333 333 333 150w 射频频率 13.56MHz 频率偏移量 ＜0.2MHz 特性阻抗 50欧姆，手动匹配 耦合方式 电容耦合 真空度 ≤100Pa 腔体材质 高纯石英 腔体容积 2L(内径110MMX深度220MM) 2L(内径110MMX深度220MM) 发发发 发发发 观察窗内径 Φ50 Φ50 Φ70 无 气体流量 10—100ml/min（其他量程可选） 过程控制 过程自动控制 过程自动控制 过程自动控制 过程手动控制 清洗时间 自动开关 开盖方式 铰链侧开式法兰 外形尺寸 150*500*250mm 450*460*370mm 530*580*420mm 重量 222 22 222 40Kg 真空室温度 小于65°C 冷却方式 强制风冷 标配 KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。