MOCVD设备 PC-008

厂商 :鹏城半导体技术(深圳)有限公司

广东 深圳市
  • 主营产品:
  • PVD镀膜设备
  • 化学气相沉积CVD
  • 金刚石涂层
联系电话 :13632750017
商品详细描述


可用于GaN、ZnO等的外延生长。

材料的输运采取了超纯的气路系统,源的切换和输入采用了多路组合阀进气技术。由于组合阀具有极小的死空间,使得源的残留量非常少,有利于生长具有陡峭界面的材料。


采用压差控制技术控制组合阀的旁路和主路之间的压力,大大降低了源的压力和浓度波动,有利于材料生长的重复性和稳定性。


采用了管道镶嵌式进气喷头,使反应源在衬底表面均匀混合并反应,大大降低了预反应的发生。


采用电阻式快速升降温加热炉。



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