AEFC-R7800CD

深圳市天铉真空技术有限公司FC-R7800系列不仅能提供流量控制。 采用金属材质密封具备的低泄漏特性，可适用于绝大多数气体控制应用。提供行业通用和AE电气信号可选方案，可方便对用户使用的质量流量控制器（MFC）进行替换，操作简单。 特点： ◆ ◆高信赖和可靠性 ◆设计 ◆采用金属密封材质 ◆VCR、Swagelok互换的气路接口 ◆10SCCM－200SLM满量程范围 ◆方便的互换性 ◆高速应答的统一性，目前市场上有大约7万只在运行中的产品，内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉 ◆方便的互换性 技术参数： 性能指标 FC-R7800CD/FC-R7800D系列 FC-R7810CD/FC-R7810D系列 FC-R7820CD/FC-R7820D系列 满量程范围 10Sccm-5Slm N/O:6-20slm* N/C:6-50slm 35-200Slm 响应时间 满流量的±2%范围内,小于2秒 满流量的±2%范围内,小于3秒 精度 ≤±1%满量程 ≤±2%满量程 线性镀 ≤满量程±0 5% ≤满量程±0 5% ＃1 ≤满量程±1% 重复性 ≤满量程±0.2% 泄漏率 1X10E-11 Pa.m ?/sec 控制范围 满流量的2%-5% #2 压差 49Kpa-275Kpa 69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa 147Kpa-275Kpa 正常工作压 力 490Kpa 进气压力 980Kpa 温度范围 5-45℃(41-113℉) 输入电源 +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA +15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA 功率 3.1W max 3.5W max 输入信号 0-5 VDC 输出型号 0-5 VDC 控制阀形式 常开或常闭电磁阀 密封件 金属密封 材质 316L，316，PTFE，不锈钢（氟橡胶，氯丁橡胶） 标准接口 1/4"VCR和Swagelok兼容 3/8"VCR,1/4"VCR 重量 1.0KG 2.7KG ＃1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1% ＃2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%- ＃3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa