edwards爱德华分子泵

厂商 ：深圳市天铉真空技术有限公司

广东 深圳市
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商品详细描述
产品参数
品牌：其他 型号：3306 材质：玻璃 驱动方式：磁力 用途：管道泵 原理：齿轮泵 功率：90 极限压力：12 外形尺寸：12 规格：900 爱德华真空泵0：3306
产品特点

深圳市天铉真空技术有限公司 英国edwards爱德华|STP高吞吐量涡轮分子泵（STPA2203C、STPA2503C） 型号： 规格： 行程： 概述 新的 Edwards STPA2203C、STPA2503C 涡轮泵设计为能够容纳下一代半导体和薄膜刻蚀制程所需的高气体流量。增强的转子设计、半机架控制器和无电池直流驱动操作可以节省可观的空间，并提供出类拔萃的性能。STPA2203C、STPA2503C 已经在主要 300 mm 金属和多晶硅刻蚀制程上获得了证明。 应用 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD 溅射 离子注入源，射束线泵送端点站 MBE 扩散 光致抗蚀剂脱模 晶体/晶膜生长 晶片检查 负载锁真空腔 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜 高能物理：射束线、加速器 放射线应用：融合系统、回旋

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