Hakuto 全自动离子刻蚀机

厂商 :伯东企业(上海)有限公司

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  • 主营产品:
  • 高低温试验箱
  • 离子源
  • 制冷剂
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商品详细描述
产品参数
品牌:超宝 加工定制: 机器类型:加香机 用途:家用 原理:超声波
产品特点

某印制板线路板生产工厂采用伯东 Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL3100 将覆铜板上不需要的铜蚀刻掉, 将需要保留的铜保留下来. ? Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL3100 技术参数: Model MEL3100 Wafer size 3"~6" Wafer per batch 1 wafer Cassette No. 25 wafers Cassette Q'ty 1pc. Throughput 10 (wafer/hr) *1 Pressure Ultimate 8×10-5 (Pa) *2 Pressure Process 2×10-2 (Pa) *2 Etching Rate >10 (nm/min)@SiO2 *3 Etching Uniformity ±5%@132mm (6") *3 Wafer surface temp. <100℃ *3 Stage rotating 1~20 (rpm) ±5% Stage tilting ±90°±0.5° *1: Estimated process time 5min *2: No wafer on stege / process chamber *3: Depending on process 该工厂采用 Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 的主要原因: 1. 所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量 2. 采用高质量的蚀刻考夫曼离子源, 保证良好的均匀性和高蚀刻率 3. 占用空间小 4. 控制单元系统提供操作通过触摸屏/ 10.4英寸, 数据记录可以显示在屏幕上 5. 高冷却效果 6. 良好的重复性和再现性的旋转和倾斜阶段具有良好的可重复性利用脉冲电动机 7. 快速响应时间和本地服务能力, 减少停机时间的工具 工厂采用 Hakuto 全自动离子刻蚀机 MEL 3100 运行结果: 1. 提高蚀刻过程的均匀性 2. 提高精密程度, 提高产线的生产工艺能力 3. 提高产线的生产率, 降低劳动强度, 保证生产的连续性 若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 : 上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐 T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049 M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw 伯东版权所有, 翻拷必究!

产品实拍
伯东企业(上海)有限公司

高低温试验箱 离子源 制冷剂 真空阀门

公司简介

伯东公司成立于1953 年,全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。


上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有完全的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。

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