80KW单极性脉冲磁控镀膜电源

厂商 :深圳市英能电气有限公司

广东 深圳市
  • 主营产品:
  • 高压电源
  • 真空镀膜电源
  • 中频磁控电源
联系电话 :13717007958
商品详细描述

   采用高频逆变方式及先进的IGBT功率模块,有效改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数;膜层致密、光洁度较好;具有效率高、运行稳定等优点 。 

  可按客户具体要求定制!

  一、应用领域

1、单极性磁控溅射靶材

2、金属膜、碳膜和部分氧化物

3、氮化物及碳化物膜


二、 主要特点

1、具备过压、过载和过热等保护

2、多功能触摸屏、操作简单

3、电弧反应灵敏

4、有效改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数

5、默认恒模式,可选恒流、恒压、恒功率模式

6、外部接口:RJ45RS485

7、通讯模式:RJ45、RS485、WIFI

8、工作效率:≥90%

9、控制精度:≤1%

10、绝缘等级:B

11、防护等级:IP20

12、外壳电阻:200MΩ

13、使用环境温度:-20+45

14、环境湿度:85%


三、主要技术参数

项目

Item

型号

Model

PM-10

PM-20

PM-30

输入电压

Input

三相交流380V +5%5060 Hz

Three-phase AC 380V +5%, 50~60 Hz

输出频率

Frequency 

4080kHz

占空比

Duty

10%-80%

输出电压

Voltage

101000V

输出电流

Peak Current

10A

20A

30A

输出功率

Peak power

10KW

20KW

30KW

通讯方式

Interface

RJ45RS485WIFI、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议

RJ45RS485WIFIOptical fiber and other communication portsMODBUS communication protocol

冷却方式

Cooling

水冷+风冷

Water + Air

尺寸

Size

706mmD)×480mmW)×225mmH

重量

Weight

50kg





实拍图片




公司简介:

深圳市英能电气有限公司创立于2015年,是一家公司集真空镀膜电源的研发,生产与销售为一体的高新企业。我公司已获得国家高新企业认定,通过ISO9001:2015认证,拥有软件著作权及实用新型共13份。公司产品已获得CE认证,并通过ROHS测试

我公司电源以自主研发和制造为主,专业为客户提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。公司产品可满足真空镀膜行业的各种需求,主要有直流磁控溅射电源,单极性磁控溅射电源,脉冲偏压电源,中频磁控溅射电源,离子源电源/高压离子源,HVMS 高压脉冲电源,弧电源等。公司本着“ 以质量求生存,顾客至上” 的原则,以创新,精细的专业知识致力于为客户提供专业,优质的服务。

联系方式:

吴生:13717007958 0755-23248674  QQ:2963884600   邮箱:eps@eps-power.cn


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