厂商 :深圳市英能电气有限公司
广东 深圳市- 主营产品:
- 高压电源
- 真空镀膜电源
- 中频磁控电源
采用高频逆变方式及先进的IGBT功率模块,有效改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数;膜层致密、光洁度较好;具有效率高、运行稳定等优点 。
可按客户具体要求定制!
一、应用领域
1、单极性磁控溅射靶材
2、金属膜、碳膜和部分氧化物
3、氮化物及碳化物膜
二、 主要特点
1、具备过压、过载和过热等保护
2、多功能触摸屏、操作简单
3、电弧反应灵敏
4、有效改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数
5、默认恒流模式,可选恒流、恒压、恒功率模式
6、外部接口:RJ45、RS485
7、通讯模式:RJ45、RS485、WIFI
8、工作效率:≥90%
9、控制精度:≤1%
10、绝缘等级:B级
11、防护等级:IP20
12、外壳电阻:≥200MΩ
13、使用环境温度:-20~+45℃
14、环境湿度:≤85%
三、主要技术参数
项目 Item |
型号 Model |
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PM-10 |
PM-20 |
PM-30 |
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输入电压 Input |
三相交流380V +5%,50~60 Hz Three-phase AC 380V +5%, 50~60 Hz |
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输出频率 Frequency |
40~80kHz |
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占空比 Duty |
10%-80% |
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输出电压 Voltage |
10~1000V |
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输出电流 Peak Current |
10A |
20A |
30A |
输出功率 Peak power |
10KW |
20KW |
30KW |
通讯方式 Interface |
RJ45、RS485、WIFI、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 RJ45、RS485、WIFI、Optical fiber and other communication ports、MODBUS communication protocol |
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冷却方式 Cooling |
水冷+风冷 Water + Air |
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尺寸 Size |
706mm(D)×480mm(W)×225mm(H) |
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重量 Weight |
约50kg |
实拍图片
公司简介:
深圳市英能电气有限公司创立于2015年,是一家公司集真空镀膜电源的研发,生产与销售为一体的高新企业。我公司已获得国家高新企业认定,通过ISO9001:2015认证,拥有软件著作权及实用新型共13份。公司产品已获得CE认证,并通过ROHS测试。
我公司电源以自主研发和制造为主,专业为客户提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。公司产品可满足真空镀膜行业的各种需求,主要有直流磁控溅射电源,单极性磁控溅射电源,脉冲偏压电源,中频磁控溅射电源,离子源电源/高压离子源,HVMS 高压脉冲电源,弧电源等。公司本着“ 以质量求生存,顾客至上” 的原则,以创新,精细的专业知识致力于为客户提供专业,优质的服务。
联系方式:
吴生:13717007958 0755-23248674 QQ:2963884600 邮箱:eps@eps-power.cn