100KW中频磁控镀膜电源

厂商 :深圳市英能电气有限公司

广东 深圳市
  • 主营产品:
  • 高压电源
  • 真空镀膜电源
  • 中频磁控电源
联系电话 :13717007958
商品详细描述

   采用先进的开关电源技术,用户在表面处理过程中能更加方便的掌控优质的薄膜工艺,具有行动稳定电压功能,具有理想的电压陡降特性,有效抑制靶面异常放电,明显提高镀件的成品率、膜层致密、光洁度较好  

  一、应用领域

1、双极性对称磁控溅射靶材

2、半导体工艺

3、手机外壳

4、触摸面板

5、钟表、3C及其他产品

二、 主要特点

1、具备过压、过载和过热等保护

2、膜层致密、光洁度较好

3、多功能触摸屏、操作简单

4、强大的抑弧功能,有效抑制靶面异常放电,响应时间<500ns

5、默认恒模式,可选恒流、恒压、恒功率模式

6、外部接口:RJ45RS485

7、通讯模式:RJ45、RS485、WIFI

7、工作效率:≥90%

8、控制精度:≤1%

9、绝缘等级:B

10、防护等级:IP20

11、外壳电阻:200MΩ

12、使用环境温度:-20+45

13、环境湿度:85%


三、主要技术参数

项目

Item

型号

Model

MS-10

MS-20

MS-30

MS-60

MS-80

MS-100

输入电压

Input

三相交流380V +5%5060 Hz

AC 380V +5%, 5060 Hz

输出频率

Frequency

2040kHz

占空比

Duty

10%-80%

输出电压

Voltage

101000V

输出电流

Peak Current

10A

20A

30A

60A

80A

100A

输出功率

Peak power

10KW

20KW

30KW

60KW

80KW

100KW

通讯方式

Interface

      RJ45RS485WIFI等通讯端口,MODBUS通讯协议

     RJ45RS485WIFIOptical fiber and other communication portsMODBUS communication protocol

冷却方式

Cooling

水冷+风冷

Water + Air

尺寸

Size

706mmD×480mmW×225mmH

706mmD×480mmW×280mmH

重量

Weight

60kg

80kg




























实拍图片




公司简介:

深圳市英能电气有限公司创立于2015年,是一家公司集真空镀膜电源的研发,生产与销售为一体的高新企业。我公司已获得国家高新企业认定,通过ISO9001:2015认证,拥有软件著作权及实用新型共13份。公司产品已获得CE认证,并通过ROHS测试

我公司电源以自主研发和制造为主,专业为客户提供真空镀膜电源及工业控制领域的解决方案。公司产品可满足真空镀膜行业的各种需求,主要有直流磁控溅射电源,单极性磁控溅射电源,脉冲偏压电源,中频磁控溅射电源,离子源电源/高压离子源,HVMS 高压脉冲电源,弧电源等。公司本着“ 以质量求生存,顾客至上” 的原则,以创新,精细的专业知识致力于为客户提供专业,优质的服务。

联系方式:

吴生:13717007958 0755-23248674  QQ:2963884600   邮箱:eps@eps-power.cn


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