厂商 ：上海微行炉业有限公司
江苏 苏州市- 主营产品：
- 真空钎焊炉
（一）产品用途：对于石墨烯生长工艺非常合适。制作硅片可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜，对于离子注入后的金属，各种黄金首饰，金刚石等材料的抗弯强度和磨耗比也有了较大幅度的提高。并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。适用于集成电路与半导体研发。也可做：于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、CVD实验、物质成分测量等场合使用。
（二）主要功能和特点：
1、利用辉光放电产生等离子体电子气相；
2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量；
3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率；
4、能广泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。
（三）主要配置：
1.石英管尺寸 L1600mm Φ80
2.加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝
3.测温元件 N型热电偶
4.加热区长度 440mm
5.恒温区长度 200mm
6.工作温度 ≤1100℃
7.控温模式 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
8.控温精度 ±1℃
9.升温速率 ≤20℃/min
10.电功率 AC220V/50HZ/3KW
（四）质量供气系统技术参数
1.外形尺寸 600x600x600mm
2.标准量程 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；
3.压力表测量范围 -0.1Mpa～0.15Mpa
4.极限压力 3MPa
5.针阀 316不锈钢
6.截止阀 Φ6mm 316不锈钢针阀
7.电功率 AC220V/50HZ/20W
8.响应时间 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
9.准确度 ±1.5%
10.线性 ±0.5～1.5%
11.重复精度 ±0.2%
12.接口 Φ6,1/4''
（五）真空系统技术参数
1.工作电电压 220V±10% 50~60HZ
2.抽气速率 4L\s
3.极限真空 4X10-2Pa
4.实验真空度 1.0X10-1Pa
6.容油量 1.1L
7.进气口口径 KF25
8.排气口口径 KF25
9.转速 1450rpm
10.射频电源 .3W-300W
11.信号频率 13.56 MHz±0.005%
12.功率输出范围 3W-300W
13.大反射功率 200W
14.射频输出接口 50 Ω, N-type, female
15.功率稳定度 ±0.1%
16.谐波分量 ≤-50dbc
17.供电电压 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
18.整机效率 >=70%
19.功率因素 >=90%
（六）射频电源 ：
1.信号频率：13.56 MHz±0.005%
2.功率输出范围： 500W
3.大反射功率： 200W
4.射频输出接口： 50 Ω, N-type, female
5.功率稳定度 ：±0.1%
6.谐波分量： ≤-50dbc
7.供电电压： 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ
8.整机效率； >=70%
9.功率因素； >=90%
（七）防护：超温报警、断偶提示、过流保护、漏电保护。当需要开启炉体观察物料或加速降温时，会自动切断电源并停止运行。
（八）质量保证：终身保修 质保期1年，相关耗材除外，如加热元件易耗材等。
（九）质量保障：公司有完整的质量奖罚制度，设有处理质量问题，服务不到位问题接受投诉部门，设备在完成后入库经过严格检测合格入库，出货前经过严格检测各个零部件，仪表完全合格方可出厂。设备的稳定性都是非常到位的，产品的制造和检测严格按相关标准执行；每台设备都有制造编号，并建立用户档案。
（十） 保护系统：
1. 电气联锁保护系统
2. 电热过电流保护装置
3. 保险丝
4. 超温报警
（十一） 整机要求
1. 电力需求：需方工程师与销售沟通好
2. 起重设备： 需方工程师与销售沟通好
（十二）安装、调试及验收
1. 买方负责地基、气源，供方电控柜总线输入端之前的进线电缆。在所有准备工作完成后，通知供方进行安装、调试。设备以供方组织，买方配合的方式在买方现场安装、调试并达到买方正常使用的要求；
2. 验收标准依据双方签订的设备技术协议验收。在供方现场进行预验收，合格后发至买方现场。在买方现场安装调试合格后，进行验收；
3. 验收工作完成后，由双方共同签署设备验收报告。
（十三）培训
设备安装调试过程中，供方同时对买方设备使用人员进行必要的操作和维护保养的培训。经培训，用户技术人员能够达到独立正确操作设备并能判断故障及简单维修。
