PECVD化学气相沉积系统

（一）产品用途：对于石墨烯生长工艺非常合适。制作硅片可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜，对于离子注入后的贵金 属，各种黄金首饰，金刚石等材料的抗弯强度和磨耗也有了较大幅度的提高。并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。适用于集成电路与半导体研发。也可做：于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、CVD实验、物质成分测量等场合使用。

（二）主要功能和特点：

1.此款设备配有Plasma实现等离子增强，滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。

2、利用辉光放电产生等离子体电子激 活气相；

3、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量；

4、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率；

4、能广泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。

5.常用气体：氮气，氩气，氢气，甲 烷四种气体混合使用。比例咨询专家。

（三）加热器技术参数

1.型号：TF1200-60-60S-SL-LV-4Z-T10   

2.石英管尺寸： 长2000mm    Φ60 内径50mm（高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热）

3.加热元件：  进口 掺钼铁铬铝合金电阻丝

4.测温元件：    N型热电偶

5.加热区长度：   440mm  

6.恒温区长度：   200mm

7.工作温度：     ≤1100℃

8.控温模式： 模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

9.控温精度： ±1℃

10.升温速率： ≤20℃/min

11.电功率： AC220V/50HZ/3KW

12.控制面板：10寸液晶触摸屏.

13.预热区：加热区205mm.功率1.5KW

14.整机占地：宽2200MM（左右占地）,深800m（进身）

（四）质量供气系统技术参数

1.标准量程：50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；  

2.压力表测量范围： -0.1Mpa～0.15Mpa

3.极限压力： 3MPa

4.阀门：   针阀 316不锈钢

5.截止阀： Φ6mm 316不锈钢针阀

6.电功率： AC220V/50HZ/20W

7.响应时间 ：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

8.准确度： ±1.5%

9.线性： ±0.5～1.5%

8.重复精度： ±0.2%

9.气路接口： Φ6,1/4''

（五）真空系统技术参数 ：

 1.工作电电压： 220V±10%  50~60HZ

 2.抽气速率 : 4L\s

3.极限真空:   4X10-2Pa

4.实验真空度： 1.0X10-1Pa

5.容油量： 1.1L

6.进气口口径： KF25

7.排气口口径：KF25

8.转速： 1450rpm

（六）射频电源 ：

1.信号频率：13.56 MHz±0.005%

2.功率输出范围： 500W   

3.反射功率： 200W

4.射频输出接口： 50 Ω, N-type, female

5.功率稳定度 ：±0.1%

6.谐波分量： ≤-50dbc

7.供电电压： 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

8.整机效率； >=70%

9.功率因素； >=90%

10.冷却方式； 强制风冷

（七）质量保证：终身保修， 质保期1年，相关耗材除外，如加热元件易耗材等。（如需延长保质期请与销售联系）

（八）安 全防护：

超温报警、断偶提示、过流保护、漏电保护。当需要开启炉体观察物料或加速降温时，为保证使用人员的安 全，会自动切断电源。

（九）质量保障：公司有完整的质量奖罚制度，设有处理质量问题，服务不到位问题接受投诉部门，设备在完成后入库经过严格检测合格入库，出货前经过严格检测各个零部件，仪表完全合格方可出厂。设备的安 全性和稳定性都是非常到位的，产品的制造和检测严格按相关标准执行，并有质量记录可查；每台设备都有制造编号，并建立用户档案。

（十） 整机要求

1. 电力需求：销售负责与使用方沟通。

2. 起重设备： 销售负责与使用方沟通。

（十一）安装、调试及验收

1. 买方负责地基、气源、水源，供方电控柜总线输入端之前的进线电缆。在所有准备工作完成后，通知供方进行安装、调试。设备以供方组织，买方配合的方式在买方现场安装、调试并达到买方正常使用的要求；

2. 验收标准依据双方签订的设备技术协议验收。在供方现场进行预验收，合格后发至买方现场。在买方现场安装调试合格后，进行终验收；

3. 验收工作完成后，由双方共同签署设备终验收报告。

（十二）培训

设备安装调试过程中，供方同时对买方设备使用人员进行必要的操作和维护保养的培训。经培训，用户技术人员能够达到独立正确操作设备并能判断故障及简单维修。

（十三）售后

 ①物流送货上门，客户的技术疑问，我们承诺在1个小时内处理完毕。

②返厂维修的设备我们承诺在24小时日内出具检测结果，3个工作日内完成维修，特殊材料需订制，酌情处理。

③设备返给客户后1周之内对用户进行回访，并提供相关技术的免费咨询。

④协议签定后,到货之日起整机保修12个月，

⑤保修期内，设备发生故障，买方通知卖方（以电话/传真/电子邮件为准）后，卖方工程师1小时响应，12小时内出具维修方案。保修期外，卖方继续提供优惠的技术支持并以低于市场价提供备品、备件供应，以及终身维修服务。

（十四）、交货期：

按合同约定执行；如客户有特殊原因需提前交货的，我公司可特别组织生产，力争满足用户需求。