CVD设备

CVD设备

 

（一）产品用途：化学实验，物理实验，各种材料烧结成型实验，也可以用来材料提纯，材料改良性能来用。晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、做CVD使用等功能。

（二）主要功能和特点：

1、炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，高效节能。

2、加热元件采用优质硅钼棒，经久耐用,最高温度可达1700℃。

3、采用双层壳体结构，结合热感应技术，配有风冷系统，使炉体表面温度快速降温。

4、可选用KF快速法兰连接，减少了加热管损坏的可能，取、放物料更加方便快捷。

5、智能PID高精度控制，自整定功能，30段可编程控制，可设置30段升降温程序,实现了功率无损耗。

6、预留真空、气路快速接口，配合我司真空、混气系统使用；满足用户在不同的真空状态及不同的气氛条件下进行实验。

7、预留USB接口，可输出报表与计历史记录每个时间段的温度记录等功能；

8、具有超温报警，漏电保护等安全操作功能。

（三）产品技术参数：

1.产品型号： TF1700-80-3Z-LV-T7

2.炉管尺寸： 80*1000mm （内径70mm）

3.加热区：  长度300mm，恒温区200mm；

4.额定电压： AC230V       50/60Hz

5.额定功率： 4kw

6.炉体结构： 双层壳体结构可使炉体表面增加降温速度 

7.中控系统： 7寸触摸屏 温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、控制、自整定功能，并可编制30段升降温程序

8.控温精度： 控温精度±1℃

9.显示模式： LED数显仪表

10.工作温度： 最高温度1700℃，连续工作温度≤1600℃

11.升温速度： 推荐≤10℃/min，最快升温速度20℃/min

12.加热元件： 1850型优质硅钼棒MoSi2左右两面加热，温场均匀，能耗低       

13.炉膛材质： 1900型优质氧化铝多晶体纤维保温性能好

14.炉管材质 ：99高纯刚玉管，长期1650度使用  

15.测温元件： B型热电偶，正上方测温

（四）气路：流量控制 质子流量计

1.标准量程： 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；  

2.压力表测量范围： -0.1Mpa～0.15Mpa

3.极限压力： 3MPa

 4.阀门：针阀 316不锈钢

 5.截止阀： Φ6mm 316不锈钢针阀

6.电功率： AC220V/50HZ/20W

7.响应时间： 气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

8.准确度： ±1.5%

9.线性 ：±0.5～1.5%

10.重复精度： ±0.2%

11.接口： Φ6,1/4''

（五）、可实现真空系统：

极限真空 1.33×10-1Pa

抽速 机械泵：4L/S  

压升率 ≤1Pa/h

测量方式 数显真空计

真空规管 电阻规

连接方式 CF60  KF25

标准配置 波纹管1根，真空角阀1个，卡箍3个，真空计1套

（六）、标准配置： （配尾气处理装置自动点火器一套。水冷机一台同炉子集成，防护手套1双；坩埚钳1把；刚玉舟2只；刚玉管2根；管堵2个；炉勾1把；6号内六角（法兰专用）；水冷法兰1套；高压气管1套；氟胶密封圈内径四只；各种气管转换接头一套，产品说明书1份；仪表说明书1份；保修证书1份。）

（七）质量保证：终身保修， 质保期1年，相关耗材除外，如加热元件易耗材等。（如需延长保质期请与销售联系）

（八）安全防护：

超温报警、断偶提示、过流保护、漏电保护。当需要开启炉体观察物料或加速降温时，为保证使用人员的安全，会自动切断电源。

（九）质量保障：公司有完整的质量奖罚制度，设有专业处理质量问题，服务不到位问题接受投诉部门，设备在完成后入库经过严格检测合格入库，出货前经过严格检测各个零部件，仪表完全合格方可出厂。设备的安全性和稳定性都是非常到位的，产品的制造和检测严格按相关标准执行，并有质量记录可查；每台设备都有制造编号，并建立用户档案。

（十一）、交货期：

按合同约定执行；如客户有特殊原因需提前交货的，我公司可特别组织生产，力争满足用户需求。