立式真空退火炉

一、 立式退火炉简介

1、外型形式：单管立式
2、硅片尺寸：156*156方片
4、额定温度：1200℃
5、工艺管：优质石英管
6、石英舟：立式石英舟
7、恒温区长度：300mm，单次可装载25片156*156方形硅片，背靠背装片模式
8、恒温区精度：±0.5℃ /300mm
9、单点温度稳定性、重复性：±0.5℃ /300mm
10、加热器：可移动式加热器，加热器及石英管可自动升降
11、送、取片方式：手动、自动送取片可自选
12、扩散方式：负压扩散
13、温度控制：日本原装控温仪，三段控温
14、热偶：双热偶控温方式
15、加热元件：瑞典康泰尔电阻丝
16、气路：N 2 、O 2 、H 2 三路气体，气路管道为316L耐腐蚀内抛光不锈钢管
17、流量计：进口质量流量计
18、气路系统密封性：1×10-7 Pa·M3 /S
19、真空系统：旋片真空泵
20、极限真空度：1.0*10-1 Pa
21、压升率：≤0.7Pa/h
22、真空计：德国品牌或客户指定
23、控制系统：PLC+触摸屏控制方式，自动/手动切换方便，温度、流量按工艺全自动调节
24、报警及保护：系统设有超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护
25、尾气处理：配备尾气处理系统，吸收尾气中的有害成分

26、冷水系统：配备冷水系统，保护密封装置及冷却加热器外壳

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