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一种低气压气体放电装置,一般由三部分组成:产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气(或反应气)供给系统。通常有四类:静态放电装置(图5之a)、高压电晕放电装置(图5之b)、高频(射频)放电装置(有3种类型,图5之c)和微波放电装置(图5之d)。把被处理的固体表面或需要聚合膜层的基体表面置于放电环境中,由等离子体处理。
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