小粒径负氧离子发生器

厂商 :厦门市同安区炬火电子厂

福建 厦门市
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商品详细描述
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一种低气压气体放电装置,一般由三部分组成:产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气(或反应气)供给系统。通常有四类:静态放电装置(图5之a)、高压电晕放电装置(图5之b)、高频(射频)放电装置(有3种类型,图5之c)和微波放电装置(图5之d)。把被处理的固体表面或需要聚合膜层的基体表面置于放电环境中,由等离子体处理。由于低气压等离子体为冷等离子体,当气压为 133~13.3帕左右时,电子温度高达10000开,而气体温度只有300开,既不致烧坏基体,又有足够能量进行表面处理。



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