氧化炉

 

一、氧化炉简介

北京晶伏华控电子设备有限公司根据客户需求专业定制的：氧化炉、高温氧化炉、热处理氧化炉、实验氧化炉主要用于在高温环境下对所加工器件进行氧化、扩散、烧结、退火、合金等工艺，该设备采用国外先进技术，关键部件全部进口。 

二、氧化炉主要技术指标（全部指标可定制）
1、外型形式：卧式、立式、箱式，管式，可定制1管-4管
2、额定工作温度：1280℃
3、加热炉管有效口径：Φ240mm
4、等温区长度：800mm
5、控温仪表：原装进口，日本岛电FP23、SR23高精度控温系统
6、等温区精度： 400℃--600℃ ±1℃600℃--1280℃ ±0.5℃
7、单点温度稳定性： 400℃--600℃ ±1℃600℃--1280℃ ±0.5℃
8、升温斜变能力：额定可控升温速度：15℃/min
9、额定升温功率：26KW/管
10、保温功率：13KW/管
11、气路系统：氮气+氧气，带湿氮发生器(含液位自动补水装置)
12、气路系统气密性： 1×10-7Pa·m3/S
13、工艺管：GE，配石英舟、石英帽等
14、热电偶：S型

我公司定制：高温炉、厢式炉、立式炉、管式炉、烧结炉、焊接炉、IGBT焊接炉、真空焊接炉、真空炉、烤盘炉、真空烤盘炉、CVD烤盘炉、MOCVD烤盘炉、扩散炉、退火炉、合金炉、交换炉、升华炉、氧化炉、气氛炉、氢气炉、CVD炉、隧道炉、焊接炉、快速退火炉、非晶退火炉、LPCVD、烧结炉、隧道炉、网带炉、电阻炉、实验炉、工业炉、LPCVD。