气氛炉

一、气氛炉简介

气氛炉、真空气氛炉、管式气氛炉、气氛真空炉、气氛热处理炉为我公司根据客户需求专业定制的真空气氛热处理设备，主要用于氮化硅镀膜、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结及退火等工艺。本设备具有：关键部件进口、自动化程度高、温度均匀、控制稳定等特点，是理想的科研及生产设备。
 
二、气氛炉主要技术指标（全部指标可定制）
1、外型形式：单管卧式
2、加热器形式：固定式加热器或可移动式加热器（产品随炉升、降温）
3、加热元件：硅钼棒
4、工艺管材质：高纯AL2O3
5、最高工作温度：1600℃ 
6、持续工作温度：1500℃
7、升温速度：1-15℃/min
8、控温精度：±1℃
9、炉管尺寸：Φ100*1200mm
10、加热区尺寸：600mm
11、恒温区长度：300mm
12、最大加热功率10KW，保温功率5KW
13、反射板：反射板采用高纯AL2O3制作，结构为可方便拆卸结构。
14、气路：N2、H2、NH3
15、极限真空度：1.0*10-1Pa
16、最大充气正压：30KPa
17、真空计：数字式压力传感器
18、温控系统：日本岛电32段可编程温控仪
19、控制方式：调功调压
20、密封系统冷却方式：水冷
21、操作方式：手、自动两种操作方式
22、报警及保护：超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护
23、供电电源：AC380V±10%、50Hz
24、总功率：10KW、三相五线制
我公司定制：箱式气氛炉、气氛炉、管式真空气氛炉、管式气氛炉、真空气氛炉、气氛真空炉、热处理气氛炉、气氛保护箱式炉、热处理气氛炉、箱式气氛炉、保护气氛炉、高温气氛炉、气氛还原炉、气氛热处理炉、气氛保护炉、加热气氛炉、焊接炉、烤盘炉、快速热处理炉、真空炉、烧结炉、电阻炉、隧道炉、厢式炉、管式炉、实验炉、高温炉、氧化炉、非晶退火炉、快速烧结炉、网带炉、链式炉、退火炉、实验炉、工业炉、温控系统。