厂商 :山东亚安机械设备有限公司
山东 临沂市- 主营产品:
- 真空干燥设备
- 微波干燥设备
- 制药设备
SDG-48 型多晶硅微波干燥设备,广泛适用半导体多晶硅干燥。
多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。利用价值:从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)
1、油脂:在多晶硅生产过程中,油分子对多晶硅的危害十分严重。实际证明,整个工艺系统几ppm的油含量就可能造成多晶硅反应速度减慢,产量降低,甚至硅反应停止。因此,多晶硅设备的脱脂工艺尤为重要。
2、水分:水中含有大量的氯离子,氯离子对多晶硅的反应十分敏感。设备及系统干燥工艺很关键。
3、氯离子残留:水和其他溶液在设备表面残留的氯离子对多晶硅影响十分大。因此,在清洗后对设备进行纯水冲洗工艺十分重要。
4、氧化物、灰尘其他杂质:其他污垢的存在,对多晶硅的生产影响也很大。因此,在设备清洗过程中,采用酸洗工艺对其他污垢进行清洗十分必要。
多晶硅加工生产中,最关见的是用纯水清洗,干燥。恰恰微波设备能满足要求,加热速度快,脱水快。可以提高效率,是电加热干燥的几十倍,没有二次污染,可以保证多晶硅的纯度,有利于后续加工质量保证。微波干燥设备为了满足多晶硅高温干燥,输送带选用了耐1000度高温的材料,保证了干燥顺利完成。
微波干燥设备整体外形结构紧凑、美观、流畅,占地面积小。针对该物料的物理特性,设计合理的箱体尺寸,使加热器内微波功率密度均匀,微波自上而下宽带馈入,使物料加热更加均匀。采用全新的微波烘干技术与设备。能够实现物料的无污染和均匀干燥,同时可大幅降低干燥温度,此外干燥速度通常提高数倍以上,生产效率大幅提高,干燥能耗通常降低50%以上,最终实现安全洁净高效生产。
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