厂商 :东莞市盛雄激光装备有限公司
广东 东莞- 主营产品:
- 皮秒激光微细加工装备
- 微细切割钻孔蚀刻划片
型号:SC-K1200
激光蚀刻银浆&ITO极细线宽3D检测报告:
行业应用:
1、 100寸超大尺寸工业&教学用电阻式、电容式触摸屏银浆&ITO线路蚀刻,其他可蚀刻材料为金属网格 纳米银 石墨烯 。
2、 ITO及各类金属导电膜线路激光蚀刻。
3、 PCB薄膜电路光刻掩膜板激光蚀刻成型。
4、太阳能光伏硅基板薄膜电路蚀刻。
机器优点:
1、激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%。
2、最小蚀刻线宽20μm,支持银浆线路和ITO一次性同时蚀刻,轻松实现单层多点电容屏sensor线路蚀刻。
3、支持CCD视觉自动寻靶,一次性可加工 2850mm×1300mm范围,拼接精度≤±5mm, 非常适合大屏幕银浆或导电氧化物薄膜线路蚀刻。
4、支持多种视觉定位特征,500万像素单点抓靶时间小于1秒钟,克服了印刷变形过大导致激光蚀刻偏位的问题,定位精度≤±3μm.
5、激光蚀刻机5万小时无耗材,免维修,使用成本低,替代黄光制程。
技术规格参数
序号 | 项目 | 技术参数 |
光学单元 | ||
1 | 激光器类型 | 1064nm 纳秒或皮秒可选 |
2 | 激光功率 | 20W |
3 | 光束质量 | M?<1.3 |
4 | 聚焦方式&加工头数 | 平场聚焦镜、单头 |
5 | 最小聚焦光斑直径 |
Ф15μm |
激光加工性能 | ||
6 | 加工速度 | 1000~4000mm/s可调 |
7 | 最小蚀刻线宽 | 20μm |
8 | 蚀刻线宽精度 | ±5μm |
9 | 激光单次最大工作范围 |
130mm×130mm,20μm线宽 170mm×170mm,35μm线宽 |
10 | 激光蚀刻最大工作范围 | 2.85m×1.3m任意自动拼接 |
11 | 激光蚀刻线路拼接精度 | ≤±5μm |
机械单元 | ||
12 | 机床结构 | 立柱&龙门式 |
13 | 机床运动轴数&种类 | 最多8轴, X,Y, Z, & θ轴 |
14 | 平台最大行程&速度 | 2.85m×1.3m,800mm/s |
15 | 运动平台重复精度 | ≤±1μm |
16 | 运动平台定位精度 | ≤±4μm |
软件控制单元 | ||
17 | 激光加工&平台控制 | Strongsoft, Strongsmart |
18 | 加工文件导入格式 | Dxf, Plt, DWG, Gebar |
19 | CCD视觉定位软件 | AISYS Vision |
20 | CCD视觉定位精度 | ≤±3μm |
电气单元 | ||
21 | 真空系统 | 真空发生器 |
22 | 除尘&集尘系统 | 离心式风机 |
安装环境 | ||
23 | 整机供电&稳压器功率 | 220V\380V,6KW |
24 | 压缩空气压强 | ≥0.6MPa |
25 | 无尘室等级 | 10000 |
26 | 地面承重 | 2T/m? |
事业部负责人:
谭先生18617218466
E-mail:tsh@stronglaser.com