扩散炉 氧化炉 程控扩散炉

厂商 ：青岛晨立电子有限公司

山东 青岛市
  • 主营产品：
  • 链式焊接炉
  • 真空炉
  • 扩散炉炉体
联系电话 ：13869885308
商品详细描述
产品描述
 设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。    
主要技术指标：
★  炉管数：      1～4管
★  配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★  恒温区长度：  760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)
760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★  单点稳定性：  ±1.0℃/24h (300～800℃)
±0.5℃/24h (800～1280℃)
★  气源路数：    ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
★  气体控制：    浮子/质量流量计
★  悬臂舟参数：  速度：    20～1000 mm/min
                        最 大行程：2000 mm
                        定位精度：±1 mm
                        最 大载荷：17 Kg
★  超净工作台：  净化等级：100级（万级厂房）
噪音：    ≤62dB（A）
振动：    ≤3μm

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