厂商 :青岛晨立电子有限公司
山东 青岛市- 主营产品:
- 链式焊接炉
- 真空炉
- 扩散炉炉体
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商品详细描述
产品参数
品牌:其他 型号:CL系列 加工定制:是 最大电压:380 功率:24 额定温度:1300 主要用途:氧化,扩散,合金,烧结等工艺 产品认证:半导体行业认证 炉管数:1-4 口径:90-360mm 工作温度:400-1280摄氏度
产品特点
扩散炉系列设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。 设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。 主要技术指标: ★ 炉管数: 1~4管 ★ 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸) ★ 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃) ★ 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃) ★ 气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器 ★ 气体控制: 浮子/质量流量计 ★ 悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min 最大行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 最大载荷:17 Kg ★ 超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)噪音: ≤62dB(A)振动: ≤3μm
产品实拍
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