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商品详细描述
对研磨盘的主要要求有:(1)材料硬度一般比工件材料低,金刚石研磨盘厂家,组织均匀致密,无杂质、异物、裂纹和缺陷,并有一定的磨料嵌人性和浸含性。(2)结构合理,有良好的刚性、精度保持性和耐磨性。其工作表面应具有较高的几何精度。(3)排屑性和散热性好 [2] ?。研磨面开槽作用编辑为了获得良好的研磨表面,有时需在研磨盘面上开槽。槽的形状有状、网格状、同心圆状和螺旋状等。槽的形状、宽度、深度和间距等要根据工件材料质量、形状及研磨面的加工精度而选择。
而研磨的时间约为10~15min。在研磨结束前也需慢慢将研磨压力降低(图中Ⅲ区)。晶片的研磨速率一般是随以下参数而增加 [3] ?:(1)研磨压力的增加;(2)研磨浆料流速的增加;(3)研磨浆料内研磨粉的增加;(4)研磨盘转速的增加。研磨制程的完成,是以定时或定厚度(磨除量)为主。其中定厚度的方法,是利用一厚度探针,来感应晶片的厚度,一旦达到设定的厚度,机台便会慢慢减压而停止研磨。
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