SST系列平面式XY双驱气浮平台

Ⅰ：标准产品ScanStep-T400

    SST系列运动平台是星微科技持续在高级材料、特有加工技术、精密结构分析和设计上不断投入的结果，我们研发的目标是为今天要求严格的半导体工业设备提供高精度和高产出率的运动系统，同时是我们有着在迎接未来的挑战中保持领先的技术能力SST气浮平台能满足在电子及半导体加工、检测设备的具有挑战性的要求。

     传统的平面式XY双驱气浮平台都采用双气浮导向导轨的形式，空气轴承的精度比滚动轴承高两个数量级，具有精度高、摩擦低、可以在极限工作环境下工作等等有点，而气浮导轨具有高承载力、高刚度、高速度、高精度、无摩擦、无污染等优点，双气浮导轨结构在安装调试时对导轨本身的精度以及导轨之间的平行度要求极高，并且该结构形式对环境恒温要求也很高；SST系列运动平台为了解决这些问题采用了开放式T型气浮结构设计，T型结构具有机械安装调试简单，对环境的恒温要求低，便于集成到客户产品当中。

     SST系列运动平台采用U型槽式直线电机驱动，这种电机结构简单，定位精度高，反应速度快、灵敏度高，随动性好，可以实现无接触传递力，机械摩擦损耗几乎为零，所以故障少，免维修，因而工作安全可靠、寿命长，结合高分辨率海德汉光栅尺以及改进的模糊PID闭环智能控制技术，通过调整控制器中速度环参数，并在位置环中加入微分控制来改善系统的阻尼，从而提高平台的性能。在速度环中采用极点配置并加入适当的前馈补偿，使平台达到很高的加速度和定位精度。 

      凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体进行不断设计优化，非接触的气浮轴承的应用与磁预载的结构，实现无摩擦的平滑运动，使SST系统运动平台达到微米~纳米的定位精度及重复定位精度。ABLS系列运动平台最大加速度可以达到2G，最大速度500MM/s，最高精度0.5uM。 

Ⅱ：产品技术

◆平面XY运动气浮平台

◆花岗岩基座、紧凑式整体

◆集成式压力、真空气浮元件

◆ScanStep-T400气浮平台主要应用于需要高精度、高重复性和高产出率的系统。

Ⅲ：关键性指标

◆行程：400mm& 400mm

◆加速度：1G-X轴、2G-Y轴

◆速度：500mm/s

◆重复性：±40nm

◆精度：0.5um（直线编码器）

◆小于0.1%的速度纹波

◆Settling time（±100nm）：<100ms

◆自然频率：100Hz

Ⅳ：应用领域

◆科研                        

◆激光加工制造                        

◆半导体制造、检测

◆工业制造

◆电子零件生产、组装

◆平面显示器制造、检验