ART系列直线电机平台/堆叠式平台

 ART系列运动平台是星微科技一款面向中低端市场、性价比极高的精密运动定位台，通过研发团队不断优化材料及工艺使平台的平面度、直线度等方面达到最优，并且完全可以按照客户的需求来选择该系列高、低精度两类产品，该系列产品能满足广泛的市场需求。

     ART系列运动平台采用U型槽式直线电机驱动，这种电机结构简单，定位精度高，反应速度快、灵敏度高，随动性好，可以实现无接触传递力，机械摩擦损耗几乎为零，所以故障少，免维修，因而工作安全可靠、寿命长，结合PID闭环智能控制技术，LGS系列运动平台最大加速度可以达到2G，最大速度500M/s，最高精度2uM。

    ART系列运动平台为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC 封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台，在先进的电子制造设备比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构。此外，在还可作为微型机电系统的制造和检测、光学测量加工领域、超精密机械加工、航空发动机测量制造等精密定位的理想选择。