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- 驱动器
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商品详细描述
WaferMax T 转台
Aerotech的Wafermax T 转台是那些要求低矮外形封装同时又具备高性能的应用的理想选择。原型设计用于晶片检查,Wafermax T 转台与其它平台紧密堆叠误差极小的优点适用于多种应用。当需要有限转动的时候,标准的25mm通孔易于布置真空线路。
直径:106.7 mm
精度:±5 arc sec
负载:40 kg
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