炉体

厂商 ：青岛福盟微电子设备有限公司

山东 青岛市
  • 主营产品：
  • 隧道炉
  • 链式炉
  • 烧结炉
联系电话 ：13658669338
商品详细描述
供应福润德扩散炉炉体

可完全代替进口炉体，优质加热炉丝，进口保温材料，采用国外先进加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度2000℃-1286℃。
设备特点：

可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停／继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件全部具有高可靠性
具有良好的人机界面     
系统故障自诊功能   
停电后断点继续运行功能等等
具有历史记录功能
具有多点温度补偿

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