高真空电子束镀膜机哪家好

电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？

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设备组成：

设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。

作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。

电子束镀膜有哪些特点？

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★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，香港高真空电子束镀膜机，使用更安全；是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品；

★ 前开门真空腔体，高真空电子束镀膜机公司，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；

★ 可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；

★ 更优的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；

★ 可沉积金属（Au， Ag， Al， Ti， Pt，高真空电子束镀膜机多少钱， Mo， Fe， Cr， Ni等）、化合物（ITO等）及有机物材料（进口电子枪）。

电子束操作及注意事项

①电子枪工作前必须检查水流是否正常，工作过程中务必保证水压、水流量指示，否则将造成坩埚损坏。?

②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热，预热电流为0.6A，预热时间新阴极5分钟以上（应缓慢调至0.6A，以防阴极变形），旧阴极2分钟即可。?

④蒸发前对材料先预热除气。?

⑤蒸发完后，按下列顺序关闭高压电源：关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至低位置→关闭磁场电源，工作时操作顺序与此顺序相反。?

⑥电子枪灯丝停止加热后，要停留10分钟以上才能向蒸发室放气

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