洁净室设计

关于精密仪器测量洁净车间实验室装修设计的通风设计，建议换气次数为：1 000级nv≮50；10 000级nv≮25；100 000级nv≮15单向流洁净室送风量以房间截面平均风速为准来计算：Q2=3600u F（3）。其中F—垂直于气流的房间截面积，合肥洁净室，m2；υ—截面平均风速，m/s。《洁净厂房设计规范》GB50073-2001中规定：洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：补偿室内排风量和保持室内正压所需的新鲜空气量之和；保证供给洁净室内的新鲜空气量应不小于40m3/（h.人）。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，千级洁净室，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，百级洁净室，因为人出汗以后，无尘洁净室，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

实验室通风系统作为洁净实验室装修设计的重要环境，对于实验环境、人员设备的安全健康运行维护等都起着重要作用。根据不同药品检验实验室的条件和要求，检测实验室的通风系统常采用惊讶传感自动变频控制（或PLC编程控制）和变风量系统（VAV）控制方式两种方式，使实验室内空气达到标准，为药品检验实验室工作人员提供舒适、顺畅、便捷的工作环境。留样观察室：可分开设置也可分区设置，室内应注意通风和防潮设计，有阴凉贮存要求的还应设置阴凉室。置于二层或二层以上楼层的还应准确计算楼面荷载，以确保安全。

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